【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池
,更具体地说,涉及一种镀膜舟。
技术介绍
太阳能电池,也称光伏电池,是一种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件。由于它是绿色环保产品,不会引起环境污染,而且利用的是可再生资源,所以在当今能源短缺的情形下,太阳能电池是一种有广阔发展前途的新型能源。常见的太阳能电池片的制作过程中,硅片在经过表面织构化和扩散制结工序后,为了增加太阳能电池片对光能的吸收,并减少载流子复合,会在硅片的表面镀上钝化减反射膜。目前锻膜主要米用的工艺为 PECVD (Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition,等离子体增强化学气相沉积法)。镀膜舟是管式PECVD过程中的必要配件,利用镀膜舟装载硅片进入PECVD设备中进行镀膜。在实际应用的过程中发现,采用现有技术的镀膜舟制作的太阳能电池片边缘漏电较高,导致电池片光电转换效率下降。
技术实现思路
本技术提供一种镀膜舟,以减轻太阳能电池片边缘漏电的问题,提高电池片的光电转换效率。为实现上述目的,本技术实施例提供了如下技术方案:一种镀膜舟,包括至少一个承载单元,所述承载单元上包括凹槽,所述凹 ...
【技术保护点】
一种镀膜舟,其特征在于,包括至少一个承载单元,所述承载单元上包括凹槽,所述凹槽的侧壁与放置在其内部的硅片的边缘的距离大于0mm,小于或等于2mm。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:余可,王立建,蔡岳莑,
申请(专利权)人:浙江昱辉阳光能源江苏有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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