【技术实现步骤摘要】
N型太阳能电池及其选择性背场制备方法
本专利技术涉及太阳能电池制造领域,具体而言,涉及一种N型太阳能电池及其选择性背场制备方法。
技术介绍
目前大多数太阳能光伏企业都使用P型硅材料生产太阳电池。P型硅电池的缺点是电池的效率会随光照时间的增加而逐渐衰减,这主要是由于掺入P型硅衬底中的硼原子与衬底中的氧原子相结合产生硼氧对的结果,硼氧对起载流子陷阱的作用,使少数载流子寿命降低,从而导致了电池效率的衰减。而N型硅衬底具有高的少数载流子寿命和对某些金属杂质的不敏感性,所以N型硅电池具有高的效率和好的稳定性。目前选择性背场结构一般都应用在P型硅电池的制作过程中,通常的制造方法有三种:(1)氧化物掩膜一次扩散法,在制绒后,通过热生长方法生长一层较薄的氧化层,然后根据丝网印刷正面电极的团在氧化层上开槽,再用弱碱清洗激光损伤层。在磷扩散时,没有开槽区域由于有氧化层的阻挡作用形成低掺杂区,开槽的区域形成高掺杂区。此种方法硅片经历氧化和扩散两次高温过程,高温损伤比常规工艺要大,对硅片质量要求较高。(2)返刻工艺,在重扩散之后,在金属区域用喷墨打印的方法打印与正面栅线图案相同的石蜡作为 ...
【技术保护点】
一种N型太阳能电池的选择性背场制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在N型衬底的预定位置印刷磷浆料;将印刷有所述磷浆料的所述N型衬底进行高温扩散,并通入三氯氧磷气体,形成选择性背场。
【技术特征摘要】
1.一种N型太阳能电池的选择性背场制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在N型衬底的预定位置印刷磷浆料;将印刷有所述磷浆料的所述N型衬底进行高温扩散,并通入三氯氧磷气体,形成选择性背场;所述在N型衬底的预定位置印刷磷浆料的步骤之前,还包括:在所述N型衬底上制绒;所述在N型衬底的预定位置印刷磷浆料的步骤与所述将印刷有所述磷浆料的所述N型衬底进行高温扩散,并通入三氯氧磷气体,形成选择性背场的步骤之间,还包括:将印刷有所述磷浆料的所述N型衬底烘干;所述将印刷有所述磷浆料的所述N型衬底进行高温扩散,并通入三氯氧磷气体,形成选择性背场的步骤中,所述三氯氧磷气体由氮气携带通入高温扩散炉内进行高温扩散;所述将印刷有所述磷...
【专利技术属性】
技术研发人员:郎芳,张伟,王红芳,王英超,张生利,赵文超,李高非,胡志岩,熊景峰,
申请(专利权)人:英利集团有限公司,
类型:发明
国别省市:
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