晶硅太阳能电池表面绒层和隔离层的激光一次成型方法技术

本发明专利技术公开了晶硅太阳能电池表面绒层和隔离层的激光一次成型方法。本发明专利技术包括以下步骤：1.清洗晶硅硅片；2.制备表面绒层：氩气氛围下用透镜聚焦后的激光器光源扫描硅片表面，形成具有硅微粒和微凹陷的绒层。3.制备隔离层：采用同步送氧气，继续用激光扫描黑硅的边缘，得到二氧化硅隔离层。本发明专利技术的有效增益如下：表面绒层和绝缘层可一次成型；仅在氩气氛围下即可制备表面绒层，条件易满足，且得到的绒层250nm～1050nm波段的光反射率在10%以下；提出了绒层和隔离层在同一层面的晶硅太阳电池新结构，隔离层的制备提高了表面绒层利用率；表面绒层和隔离层制备，只涉及氩气和氧气，绿色环保。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶硅太阳能电池
，尤其是涉及。
技术介绍
晶硅太阳电池是光伏产业的主导产品，技术成熟，转换效率高。而表面制绒技术是晶硅太阳电池的常用技术，通常用碱性或酸性溶液对硅片表面进行腐蚀，使其凹凸不平，减少直射到硅片表面的太阳能损失，达到陷光效果。但酸碱溶液的使用不利环保，近年来激光制绒开始被广泛研究，上世纪90年代末，哈佛大学EricMazur等学者在硅片上的得到的绒面，它对近紫外近红外波段的光(0.25 2.5 μ m)几乎全部吸收，其采用的激光制绒方法是一种良好的晶硅太阳电池表面制绒方法。但其制备条件较为苛刻，需要相应的设备投入，通常见于实验室制备，较难应用于大规模工业生产。如:将硅片放置在真空室中，抽真空至KT2Torr,冲入通过微型系统进行精密控制的SF6背景气体，当气压到达 500Torr 方可进行制备(Appl.Phys.A87, 673 - 677 (2007))。工业上晶硅太阳能电池一般采用丝网印刷的方法制作晶硅太阳能电池受光面银栅电极，并通过烧结形成良好的欧姆接触，来有效收集电流。但银栅电极会阻挡部分阳光(8%左右)，使受光面的实际使用面积下降，从而降本文档来自技高网...

【技术保护点】
晶硅太阳能电池表面绒层和隔离层的激光一次成型方法，其特征在于，所述方法包括：（1）清洗硅片：首先将晶硅硅片置于氢氟酸溶液中，浸泡2?5分钟，取出后用去离子水清洗；（2）制备表面绒层：开启氩气，吹拂需加工区域，流速5～15L/min，开启激光器，通过控制系统控制聚焦后的激光对硅片表面进行逐行扫描,能量密度为0.16J/cm2～0.48J/cm2，聚焦光斑半径R与相邻激光脉冲聚焦光斑偏移距离D的比值R/D的范围为9.0*103～3.4*104，得到绒层；（3）制备隔离层：关闭氩气，启同步输送氧气，流速：10～20L/min，通过控制系统继续控制激光在已制备的表面绒层边缘进行扫描，能量密度为0.16...

【技术特征摘要】
1.晶硅太阳能电池表面绒层和隔离层的激光一次成型方法，其特征在于，所述方法包括: (1)清洗硅片:首先将晶硅硅片置于氢氟酸溶液中，浸泡2-5分钟,取出后用去离子水清洗； (2)制备表面绒层:开启氩气，吹拂需加工区域，流速5 15L/min，开启激光器，通过控制系统控制聚焦后的激光对硅片表面进行逐行扫描，能量密度为0.16J/cm2 0.48J/cm2,聚焦光斑半径R与相邻激光脉冲聚焦光斑偏移距离D的比值R/D的范围为9.0*103 3.4*104，得到绒层； (3)制备隔离层:关闭氩气，启同步输送氧气，流速:10 20L/min，通过控制系统继续控制激光在已制备的表面绒层边缘进行扫描，能量密度为0.16J/cm2 0.80J/cm2，扫描时聚焦光斑半...

【专利技术属性】
技术研发人员：季凌飞，吕晓占，吴燕，李秋瑞，蒋毅坚，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：