真空传输制程设备及方法技术

本发明专利技术公开了一种真空传输制程设备及方法。该设备包括：一真空制程腔，包括一加工区域、一第一等待区域以及一第二等待区域；一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔；多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该第二等待区域移回该进出件腔、然后从该进出件腔移回大气环境，且各传输平台用于依次连续地在该加工区域中完成工件加工。本发明专利技术仅设计了一个进出件腔便实现了工件的连续进出真空环境以及对工件的连续加工，由此实现了对加工介质的100％利用，从而极大地提高了加工效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空制程技术，特别是涉及一种真空传输制程设备以及一种利用该真空传输制程设备实现的真空传输制程方法。
技术介绍
新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大
之一，太阳能便是一种清洁、高效、永不衰竭的新能源。在新世纪中，各国政府都将太阳能资源利用作为国家可持续发展战略的重要内容，光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等诸多优点。近几年来，国际光伏发电产业迅猛发展，太阳能晶片供不应求，于是提高太阳能晶片的生产能力已经成为一个重要的课题。太阳能晶片的许多制程都是在真空制程腔中完成的，在真空制程腔中设有用于利用加工介质对太阳能晶片进行加工的加工装置。为了提高太阳能晶片的生产效率，人们需要尽可能地优化太阳能晶片进出真空制程腔的移动路线，以使得太阳能晶片能够尽可能连续地进出真空环境、并且尽可能连续地通过加工介质的有效作用范围，从而提高对加工介质的利用率。目前业内已经提出了多种用于将太阳能晶片传入真空制程腔完成加工、再将其传出真空制程腔的真空传输制程设备，在这些真空传输制程设备中人们对太阳能晶片进出真空制程腔的移动路线进行了各种优化，以尽可能地提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空传输制程设备，其特征在于，其包括：一真空制程腔，包括一加工区域、位于该加工区域一侧的一第一等待区域以及位于该加工区域另一侧的一第二等待区域，该加工区域中设有一个或两个以上的用于利用加工介质对工件进行加工的加工装置；一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，当该进出件腔处于真空状态时，该进出件腔的接近该加工区域该侧的一端能够与该第一等待区域连通、该进出件腔的接近该加工区域该另一侧的一端能够与该第二等待区域连通；多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该...

【技术特征摘要】
1.一种真空传输制程设备，其特征在于，其包括: 一真空制程腔，包括一加工区域、位于该加工区域一侧的一第一等待区域以及位于该加工区域另一侧的一第二等待区域，该加工区域中设有一个或两个以上的用于利用加工介质对工件进行加工的加工装置； 一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，当该进出件腔处于真空状态时，该进出件腔的接近该加工区域该侧的一端能够与该第一等待区域连通、该进出件腔的接近该加工区域该另一侧的一端能够与该第二等待区域连通； 多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该第二等待区域移回该进出件腔、然后从该进出件腔移回大气环境，且各传输平台用于依次连续地在该加工区域中完成工件加工。2.如权利要求1所述的真空传输制程设备，其特征在于，方案一:各传输平台均用于从该进出件腔经过该第一等待区域进入该加工区域、奇数次移动通过该加工区域完成工件加工、然后从该加工区域经过该第二等待区域移回该进出件腔；或者，方案二:该些传输平台中的部分传输平台用于从该进出件腔经过该第一等待区域进入该加工区域、偶数次移动通过该加工区域完成工件加工、然后从该加工区域经过该第一等待区域移回该进出件腔，剩余传输平台用于从该进出件腔经过该第二等待区域进入该加工区域、偶数次移动通过该加工区域完成工件加工、然后从该加工区域经过该第二等待区域移回该进出件腔，且来自该第一等待区域与该第二等待区域的传输平台交替地在该加工区域中完成工件加工。3.如权利要求1所述的真空传输制程设备，其特征在于，该加工区域、该第一等待区域、该进出件腔以及该第二等待区域连接成矩形或环形。4.如权利要求1-3中任意一项所述的真空传输制程设备，其特征在于，当该加工区域中设有一个加工装置时，该进出件腔仅用于在该加工装置的加工介质未作用在工件上时与该第一等待区域或该第二等待区域连通；当该加工区域中设有两个以上加工装置时，该进出件腔仅用于在该两个以上加工装置中有至少一个加工装置的加工介质未作用在工件上时与该第一等待区域或该第二等待区域连通。5.如权利要求4所述的真空传输制程设备，其特征在于，当该加工区域中设有两个以上加工装置时，该进出件腔仅用于在该两个以上加工装置的加工介质均未作用在工件上时与该第一等待区域或该第二等待区域连通。6.如权利要求1-5中任意一项所述的真空传输制程设备,其特征在于,该些传输平台分为多组，每组传输平台中的各传输平台在从大气环境进入该进出件腔直至该组传输平台中有一个传输平台开始进入该加工区域为止的时间段中以及在从该组传输平台全部移出该加工区域直至从该进出件腔移回大气环境为止的时间段中均用于叠置地一同移动或等待。7.如权利要求6所述的真空传输制程...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈炯，钱锋，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：