真空传输制程设备及方法技术

本发明专利技术公开了一种真空传输制程设备及方法。该设备包括：一真空制程腔，包括一加工区域、一第一等待区域以及一第二等待区域；一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔；多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该第二等待区域移回该进出件腔、然后从该进出件腔移回大气环境，且各传输平台用于依次连续地在该加工区域中完成工件加工。本发明专利技术仅设计了一个进出件腔便实现了工件的连续进出真空环境以及对工件的连续加工，由此实现了对加工介质的100％利用，从而极大地提高了加工效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空制程技术，特别是涉及一种真空传输制程设备以及一种利用该真空传输制程设备实现的真空传输制程方法。
技术介绍
新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大
之一，太阳能便是一种清洁、高效、永不衰竭的新能源。在新世纪中，各国政府都将太阳能资源利用作为国家可持续发展战略的重要内容，光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等诸多优点。近几年来，国际光伏发电产业迅猛发展，太阳能晶片供不应求，于是提高太阳能晶片的生产能力已经成为一个重要的课题。太阳能晶片的许多制程都是在真空制程腔中完成的，在真空制程腔中设有用于利用加工介质对太阳能晶片进行加工的加工装置。为了提高太阳能晶片的生产效率，人们需要尽可能地优化太阳能晶片进出真空制程腔的移动路线，以使得太阳能晶片能够尽可能连续地进出真空环境、并且尽可能连续地通过加工介质的有效作用范围，从而提高对加工介质的利用率。目前业内已经提出了多种用于将太阳能晶片传入真空制程腔完成加工、再将其传出真空制程腔的真空传输制程设备，在这些真空传输制程设备中人们对太阳能晶片进出真空制程腔的移动路线进行了各种优化，以尽可能地提高加工效率。然而，在提高加工效率的同时，这些移动路线的优化却在一定程度上导致了整个真空传输制程设备结构的复杂化，随之而来的便是运行控制的复杂化以及运行可靠性的降低。例如，在现有的真空传输制程设备中，太阳能晶片通常都是由传输平台承载着进出真空制程腔的，而为了使得大量的传输平台能够尽可能高效地运行，在真空制程腔两侧通常均需要设计至少一个用于在大气环境与真空环境之间进行过渡的腔室。在一些设计中，位于真空制程腔一侧的腔室仅用于供待加工的太阳能晶片进入真空环境，即为进件腔，而位于真空制程腔另一侧的腔室则仅用于供完成加工的太阳能晶片离开真空环境，即为出件腔；而在另一些设计中，在真空制程腔两侧采用的则均为进出件腔，其既用于供待加工的太阳能晶片进入真空环境又用于供完成加工的太阳能晶片离开真空环境。而数量较多的进件腔、出件腔或是进出件腔无疑会提高整个真空传输制程设备的结构复杂性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中的真空传输制程设备通常在真空制程腔的两侧均需要设计用于工件进出的腔室，由此使得设备的整体结构复杂，从而会导致运行控制复杂 化以及运行可靠性降低的缺陷，提供一种在真空制程腔与大气环境之间仅设计有一个进出件腔的真空传输制程设备以及一种利用该真空传输制程设备实现的真空传输制程方法。本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种真空传输制程设备，其特点在于，其包括:一真空制程腔，包括一加工区域、位于该加工区域一侧的一第一等待区域以及位于该加工区域另一侧的一第二等待区域；一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，当该进出件腔处于真空状态时，该进出件腔的接近该加工区域该侧的一端能够与该第一等待区域连通、该进出件腔的接近该加工区域该另一侧的一端能够与该第二等待区域连通；多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该第二等待区域移回该进出件腔、然后从该进出件腔移回大气环境，且各传输平台用于依次连续地在该加工区域中完成工件加工。本专利技术对工件的种类不做限制，其可以为例如太阳能晶片。另外，要加以说明的是，在本专利技术中“第一”和“第二”仅用于对两个等待区域进行区分，该两个等待区域的设计在本专利技术中的地位实际上是完全对等的。本专利技术不再在该真空制程腔的两侧分别设计用于在大气环境与真空环境之间进行过渡的腔室，而是将各传输平台进出该真空制程腔的出口和入口统一为该进出件腔，这显然极大地简化了整个真空传输制程设备的结构。另外，考虑到每个传输平台上的工件在该加工区域中完成加工是需要一定的时间的，而当传输平台需要通过该进出件腔进入/离开真空环境时该进出件腔的抽真空/充气也是需要一定的时间的，因此，本专利技术在该加工区域的两侧分别设计了该第一和第二等待区域，当该加工区域或该进出件腔正被其它传输平台占用时，后续的传输平台便可以在该第一或第二等待区域中暂时等待。利用该第一和第二等待区域的调节，本专利技术便得以实现:不但仅利用了一个进出件腔便完成了所有传输平台的进出真空环境的操作，在此基础上还进一步地保证了各传输平台能够依次连续地在该加工区域中完成工件加工，即前一传输平台刚一离开该加工区域，后一传输平台便立刻紧随着进入该加工区域，这样该加工区域中的工件加工便始终不会发生中断，此时对加工介质的利用率显然是最高的，实现的加工效率显然也是最高的。较佳地，方案一:各传输平台均用于从该进出件腔经过该第一等待区域进入该加工区域、奇数次移动通过该加工区域完成工件加工、然后从该加工区域经过该第二等待区域移回该进出件腔；或者，方案二:该些传输平台中的部分传输平台用于从该进出件腔经过该第一等待区域进入该加工区域、偶数次移动通过该加工区域完成工件加工、然后从该加工区域经过该第一等待区域移回该进出件腔，剩余传输平台用于从该进出件腔经过该第二等待区域进入该加工区域、偶数次移动通过该加工区域完成工件加工、然后从该加工区域经过该第二等待区域移回该进出件腔，且来自该第一等待区域与该第二等待区域的传输平台交替地在该加工区域中完成工件加工。较佳地，该加工区域、该第一等待区域、该进出件腔以及该第二等待区域连接成矩形或环形。本专利技术中的矩形既包括严格的矩形也包括近似的矩形，而环形同样地既包括严格的环形也包括近似的环形。较佳地，当该加工区域中设有一个加工装置时，该进出件腔仅用于在该加工装置的加工介质未作用在工件上时与该第一等待区域或该第二等待区域连通；当该加工区域中设有两个以上加工装置时，该进出件腔仅用于在该两个以上加工装置中有至少一个加工装置的加工介质未作用在工件上时与该第一等待区域或该第二等待区域连通。考虑到在实际生产中，即使在该进出件腔已经抽真空的状态下，其真空度也未必能够严格地达到该真空制程腔中的真空度标准，因此若是在工件加工的过程中连通该进出件腔与该真空制程腔，则有可能会引起该加工区域的真空度不足，从而影响到加工质量。因此较好的做法是，尽可能地在加工间隙，即在前后两个传输平台在加工介质的有效作用范围内交接的时间节点连通该进出件腔与该真空制程腔。较佳地，当该加工区域中设有两个以上加工装置时，该进出件腔仅用于在该两个以上加工装置的加工介质均未作用在工件上时与该第一等待区域或该第二等待区域连通。较佳地，该些传输平台分为多组，每组传输平台中的各传输平台在从大气环境进入该进出件腔直至该组传输平台中有一个传输平台开始进入该加工区域为止的时间段中以及在从该组传输平台全部移出该加工区域直至从该进出件腔移回大气环境为止的时间段中均用于叠置地一同移动或等待。在除了工件加工的时间段以外的其它时间段中，都尽可能地使多个传输平台一同运行，将能够最大程度地降低每个传输平台进出真空环境的平均耗时，从而进一步地提高加工效率。 较佳地，每组传输平台中传输平台的数量为2个。由于每个传输平台上的工件完成加工是需要一定的时间的，因此使传输平台两两成组会是较为合适的选择。较佳地，各传输平台均用于以长度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空传输制程设备，其特征在于，其包括：一真空制程腔，包括一加工区域、位于该加工区域一侧的一第一等待区域以及位于该加工区域另一侧的一第二等待区域，该加工区域中设有一个或两个以上的用于利用加工介质对工件进行加工的加工装置；一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，当该进出件腔处于真空状态时，该进出件腔的接近该加工区域该侧的一端能够与该第一等待区域连通、该进出件腔的接近该加工区域该另一侧的一端能够与该第二等待区域连通；多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该第二等待区域移回该进出件腔、然后从该进出件腔移回大气环境，且各传输平台用于依次连续地在该加工区域中完成工件加工。

【技术特征摘要】
1.一种真空传输制程设备，其特征在于，其包括: 一真空制程腔，包括一加工区域、位于该加工区域一侧的一第一等待区域以及位于该加工区域另一侧的一第二等待区域，该加工区域中设有一个或两个以上的用于利用加工介质对工件进行加工的加工装置； 一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，当该进出件腔处于真空状态时，该进出件腔的接近该加工区域该侧的一端能够与该第一等待区域连通、该进出件腔的接近该加工区域该另一侧的一端能够与该第二等待区域连通； 多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该第二等待区域移回该进出件腔、然后从该进出件腔移回大气环境，且各传输平台用于依次连续地在该加工区域中完成工件加工。2.如权利要求1所述的真空传输制程设备，其特征在于，方案一:各传输平台均用于从该进出件腔经过该第一等待区域进入该加工区域、奇数次移动通过该加工区域完成工件加工、然后从该加工区域经过该第二等待区域移回该进出件腔；或者，方案二:该些传输平台中的部分传输平台用于从该进出件腔经过该第一等待区域进入该加工区域、偶数次移动通过该加工区域完成工件加工、然后从该加工区域经过该第一等待区域移回该进出件腔，剩余传输平台用于从该进出件腔经过该第二等待区域进入该加工区域、偶数次移动通过该加工区域完成工件加工、然后从该加工区域经过该第二等待区域移回该进出件腔，且来自该第一等待区域与该第二等待区域的传输平台交替地在该加工区域中完成工件加工。3.如权利要求1所述的真空传输制程设备，其特征在于，该加工区域、该第一等待区域、该进出件腔以及该第二等待区域连接成矩形或环形。4.如权利要求1-3中任意一项所述的真空传输制程设备，其特征在于，当该加工区域中设有一个加工装置时，该进出件腔仅用于在该加工装置的加工介质未作用在工件上时与该第一等待区域或该第二等待区域连通；当该加工区域中设有两个以上加工装置时，该进出件腔仅用于在该两个以上加工装置中有至少一个加工装置的加工介质未作用在工件上时与该第一等待区域或该第二等待区域连通。5.如权利要求4所述的真空传输制程设备，其特征在于，当该加工区域中设有两个以上加工装置时，该进出件腔仅用于在该两个以上加工装置的加工介质均未作用在工件上时与该第一等待区域或该第二等待区域连通。6.如权利要求1-5中任意一项所述的真空传输制程设备,其特征在于,该些传输平台分为多组，每组传输平台中的各传输平台在从大气环境进入该进出件腔直至该组传输平台中有一个传输平台开始进入该加工区域为止的时间段中以及在从该组传输平台全部移出该加工区域直至从该进出件腔移回大气环境为止的时间段中均用于叠置地一同移动或等待。7.如权利要求6所述的真空传输制程...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈炯，钱锋，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：