【技术实现步骤摘要】
本技术涉及气体配置技术，具体涉及两种高纯度气体现场混合的配置装置。
技术介绍
现代的电子厂都是高效率、大规模、集成度极高的现代产业，其对气体的纯度和质量要求都非常的高，高纯度气体主要体现在对原料气的要求，原料气的纯度至少需要达到三个9以上。现有技术中常采用的是将两种或两种以上的高纯度气体混制好充装在钢瓶中后，通过混匀机混匀，检验合格后再装车运输到需要高纯度气体的客户处，使用钢瓶来给客户进行气体供应，使得运输成本非常的高昂(危险品运输)，工序复杂，步骤繁琐，当客户用气量达到一定规模后就需要大量的钢瓶来盛装混合气体，增大了公司的成本投入。
技术实现思路
针对现有技术中的上述不足，本技术提供的高纯度混合气体配制系统，能够现场进行高纯度气体的混制，解决了长期以来来回运输灌装混合气体的成本投入大及影响客户正常生产等问题。为了达到上述专利技术目的，本技术采用的技术方案为:提供了一种高纯度混合气体配制系统，其包括分别与第一供气单元、第二供气单元、分析单元和计量单元连接的气体混合单元；所述第一供气单元包括依次连接的气体集装格、减压装置和过滤装置；第一供气单元为混配气体单元提供所需压力的...
【技术保护点】
一种高纯度混合气体配制系统，其特征在于：包括分别与第一供气单元、第二供气单元、分析单元和计量单元连接的气体混合单元；所述第一供气单元包括依次连接的气体集装格、减压装置和过滤装置；所述第二供气单元包括依次连接的低温液体贮槽、汽化器、减压装置和过滤装置；所述第一供气单元中的过滤装置和第二供气单元中的过滤装置均与气体混合单元连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李涌涛，
申请(专利权)人：成都成钢梅塞尔气体产品有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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