超纯气体回收系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种超纯气体回收系统，该系统的第一汇流排组、第三汇流排组和第二汇流排组上设置有隔膜阀，隔膜阀通过管道与灌装瓶连接；所述真空泵通过管道与第一汇流排组、第三汇流排组和第二汇流排组连接；所述第三汇流排组通过增压泵与第二汇流排组连接，所述增压泵内部设置有过滤器；所述第一汇流排组通过纯化器与第二汇流排组连接。该超纯气体回收系统增压泵内部设置的过滤器，可以对进入增压泵内气体中夹杂的颗粒进行过滤，过滤后的气体颗粒度<1μ，增压后的超纯气体的纯度可以达到99.9999%；采用增压泵作为增压装置，其占用的死体积小，使置换损失的超纯气体量少。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种超纯度气体回收系统。
技术介绍
目前，对于高纯的气体可以使用隔膜压缩机等增压装置进行底气的回收，但这些增压装置存在以下问题:1、回收的质量最好只能达到99.999%左右；2、机器的死体积大，使得置换机器产生的气体损耗量很大；3、这一类机械制程中未对粒度进行控制，易混入机械油微粒和大量机械颗粒，所以被增压的气体不能满足一些对颗粒有要求的应用。
技术实现思路
针对现有技术中的不足，本技术提供的超纯度气体回收系统解决了增压装置死体积大、生产出来的气体纯度低等问题。为了达到上述专利技术目的，本技术采用的技术方案为:提供一种超纯气体回收系统，其包括第一汇流排组、真空泵、第三汇流排组、隔膜阀、增压泵和第二汇流排组；所述第一汇流排组、第三汇流排组和第二汇流排组上设置有隔膜阀，隔膜阀通过管道与灌装瓶连接；所述真空泵通过管道与第一汇流排组、第三汇流排组和第二汇流排组连接；所述第三汇流排组通过增压泵与第二汇流排组连接，所述增压泵内部设置有过滤器；所述第一汇流排组通过纯化器与第二汇流排组连接。优选地，所述第一汇流排组、第三汇流排组和第二汇流排组由若干个汇流排组成，所述汇流排之间通过VCR接头连接。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超纯气体回收系统，其特征在于：包括第一汇流排组（1）、真空泵（3）、第三汇流排组（4）、隔膜阀（5）、增压泵（7）和第二汇流排组（8）；所述第一汇流排组（1）、第三汇流排组（4）和第二汇流排组（8）上设置有隔膜阀（5），隔膜阀（5）通过管道与灌装瓶（6）连接；所述真空泵（3）通过管道与第一汇流排组（1）、第三汇流排组（4）和第二汇流排组（8）连接；所述第三汇流排组（4）通过增压泵（7）与第二汇流排组（8）连接，所述增压泵（7）内部设置有过滤器；所述第一汇流排组（1）通过纯化器（9）与第二汇流排组（8）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈文，
申请(专利权)人：成都成钢梅塞尔气体产品有限公司，
类型：实用新型
国别省市：