一种等离子体刻蚀机的传片系统技术方案

一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成；装载装置包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体设取送片口，取送片口处设插板阀；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；机械手装置包括机械手和容纳腔，容纳腔通过插板阀与装载腔体连通；装载腔体内部设有托盘架，托盘架具有多个托持位，每个托持位均设有缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括升降工作部和旋转工作部，升降工作部包括导向杆，升降电机和升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封。本发明专利技术具有片盘吞吐量增大，自动化程度高的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子体刻蚀
，涉及一种等离子体刻蚀机的传片系统。
技术介绍
等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。传片系统是等离子体刻蚀机的重要组成部分，其作用时将待刻蚀片盘送入刻蚀腔内，等刻蚀完成后，再将片盘取出。现有的等离子体刻蚀机的传片系统每次只能装在一个片盘，片盘的吞吐量小，自动化程度低，不能实现批量加工。
技术实现思路
为了克服现有技术的传片系统片盘吞吐量小，自动化程度低的缺点，本专利技术提供了一种片盘吞吐量增大，自动化程度高的等离子体刻蚀机的传片系统。一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成； 其特征在于:装载装置包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有取送片口，取送片口处设有插板阀；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；机械手装置包括机械手和机械手的容纳腔，容纳腔通过插板阀与装载腔体连通，机械手经取送片口进入装载腔体内； 装载腔体内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成；其特征在于：装载装置包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有取送片口，取送片口处设有插板阀；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；机械手装置包括机械手和机械手的容纳腔，容纳腔通过插板阀与装载腔体连通，机械手经取送片口进入装载腔体内；装载腔体内部设有托持片盘的托盘架，托盘架具有多个托持片盘的托持位，每个托持位均设有允许片盘离开的缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括带动托盘架抬起或下落的升降工作部，和带动托盘架旋转以转换托持位的旋转工作部，升降工作部包括插入装载腔体内的导向杆，升降电机和连...

【技术特征摘要】
1.一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成；其特征在于:装载装置包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有取送片口，取送片口处设有插板阀；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；机械手装置包括机械手和机械手的容纳腔，容纳腔通过插板阀与装载腔体连通，机械手经取送片口进入装载腔体内；装载腔体内部设有托持片盘的托盘架，托盘架具有多个托持片盘的托持位，每个托持位均设有允许片盘离开的缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括带动托盘架抬起或下落的升降工作部，和带动托盘架旋转以转换托持位的旋转工作部，升降工作部包括插入装载腔体内的导向杆，升降电机和连接导向杆与升降电机的升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和连接导向杆与旋转电机的旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封。2.如权利要求1所述的等离子体刻蚀机的传片系统，其特征在于:机械手包括托取片盘的手指，与驱动元件连接的主动臂和连接手指与主动臂的连接臂，连接臂一端与主动臂铰接，另一端与手指铰接，驱动元件带动主动臂做旋转运动。3.如权利要求1或2所述的等离子体刻...

【专利技术属性】
技术研发人员：张钦亮，平志韩，苏静洪，王谟，陈骝，
申请(专利权)人：天通吉成机器技术有限公司，
类型：发明
国别省市：