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一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成；装载装置包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体设取送片口，取送片口处设插板阀；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；机械手装置包括机械手和容纳腔，容纳腔通过插板阀与装...
该专利属于天通吉成机器技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天通吉成机器技术有限公司授权不得商用。

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