芯片测试机制造技术

技术编号:8950598 阅读:175 留言:0更新日期:2013-07-21 20:06
本实用新型专利技术揭露一种芯片测试机,包括:一托盘,具有一上表面及相对于该上表面的一下表面;多个放置槽,形成于该托盘的上表面,并于每该放置槽内具有一贯穿该托盘的第一测试孔;一基板,具有一上表面及相对于该上表面的一下表面,配置于该托盘下方,在该基板上具有多个与该第一测试孔相对应的第二测试孔;一探针座,配置于该基板下方,具有多个测试区,每该测试区中具有多个朝上的探针,该些探针相对应该基板的该第二测试孔;及一检测器,与该探针座电性连接。本实用新型专利技术通过托盘上的测试孔,使芯片测试机的探针座能一次对齐所有芯片,在同一时间做检测,其减少制程大量的工时,并增加测试者的收益,亦会对后续产品的进度产生正向效益。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术有关于一种芯片测试机,特别是有关于一种用于大量测试芯片的芯片测试机。
技术介绍
近几年来,随着电子科技、网路等相关技术的进步,以及全球电子市场消费水平的提升,个人计算机、多媒体、工作站、网络、通信相关设备等电子产品的需求量激增,带动整个世界半导体产业的蓬勃发展,而由一娃片制造成为一集成电路芯片(integrate circuit chip ;IC chip),需耗费多道的制程,包括:产品设计(IC design)、娃片制造(Wafer manufacture)、光掩模(Photo mask)制造、IC 封装(Packaging)、测试(Testing)、包装(Assembly),以及外围的导线架制造(Lead-frame manufacture)、连接器制造(Connectormanufacture)、电路板制造(Board manufacture)等,此一结合紧密的制程体系,形成现今高科技的结晶。在各电子产品中,集成电路芯片被视为其心脏枢纽,因此世界各电子厂对集成电路芯片采购标准也最为严苛。在现下对集成电路芯片需求大增的情况下,供货商除了确保最终测试(final testing)准确无 误外,亦必须能够迅速的大量出货。在芯片检测系统,将一载满集成电路芯片的托盘(tray)送入至一入料机器手臂下方,入料机器手臂前端设有吸嘴,下降机器手臂,即可利用吸嘴吸取料盘中一芯片后,为相邻排列的多个检测机构--填入集成电路芯片。然而,托盘(tray)上有多个晶粒,以机器手臂吸取至检测机构一一检测,其需耗费大量的工时,在现今对集成电路芯片有大量需求的情况下,其会降低测试者的收益,亦会对后续产品的进度有所影响。
技术实现思路
为了解决上述所提到问题,本技术的一主要目的在于提供一种芯片测试机,特别是一种对托盘上的芯片同一时间做检测,其快速且准确。依据上述目的,本技术提供一种芯片测试机,包括:一托盘,具有一上表面及相对于上表面的一下表面;多个放置槽,形成于托盘的上表面,并于每放置槽内具有一贯穿托盘的第一测试孔;一基板,具有一上表面及相对于上表面的一下表面,配置于托盘下方,在基板上具有多个与第一测试孔相对应的第二测试孔;一探针座,配置于基板下方,具有多个测试区,每测试区中具有多个朝上的探针,此些探针相对应基板的第二测试孔;及一检测器,与探针座电性连接。其中,该放置槽内进一步包含至少一导正件。。其中,该检测器是以有线连接的方式连接于该探针座。其中,该检测器是以无线连接的方式连接于该探针座。本技术的有益效果:本技术所提出的芯片测试机,可在同一时间检测大批芯片,增加检测芯片的数量,减少制程大量的工时,并增加测试者的收益,亦会对后续产品的进度产生正向效益。附图说明图1为本技术的托盘与对应基板的俯视图;图2为本技术的芯片测试机的剖视图;图3为本技术的检测芯片的剖视图;图4为本技术另一实施例的芯片测试机的剖视图;图5A 图5B为本技术另一实施例的芯片测试机的实施示意图。主要元件符号说明10、10’、10”、10n、10n+1 托盘101上表面103下表面12放置槽121导正件14 测试孔141放置间隔20、20,、20 ”、20n、20n+1 基板201上表面203下表面22第二测试孔30探针座32测试区321探针40检测器50待测芯片501焊垫60导线70压置板具体实施方式为使本技术的目的、技术特征及优点,能更为相关
人员所了解并得以实施本技术,在此配合所附图式,于后续的说明书阐明本技术的技术特征与实施方式,并列举较佳实施例进一步说明,然以下实施例说明并非用以限定本技术,且以下文中所对照的图式,表达与本技术特征有关的示意。请参阅图1,为本技术的托盘与对应基板的俯视图。如图1所示,芯片测试机主要包含一托盘10 (tray)及一基板20 ;托盘10具有一上表面101及相对于上表面101的一下表面103 ;在上表面101上形成多个放置槽12,用以放置待测芯片,并于每一放置槽12内具有一贯穿托盘10的第一测试孔14,使待测芯片下方的焊垫得以露出于下表面103 ;另夕卜,在放置槽12中配置有至少一个导正件121,用以导正待测芯片,使其不会放置歪斜,影响测量。基板20具有一上表面201及相对于上表面201的一下表面203 ;基板20配置于托盘10下方,在基板20上具有多个与第一测试孔14相对应的第二测试孔22。接着,请参阅图2,为本技术的芯片测试机的剖视图。如图2所示,在待测芯片50要检测时,将每一待测芯片50放置于托盘10上的每一放置槽12内;放置槽12的宽度大于第一测试孔14的宽度,因此之间的间距会形成一放置间隔141,用以在放置待测芯片50时,卡住待测芯片50的周围;在托盘10上将全部待测芯片50放置完成后,将托盘10放置于基板20上方;此时,待测芯片50的多个焊垫501会对齐托盘10的第一测试孔14与基板20的第二测试孔22。接着,在基板20下方,配置一探针座30,探针座30上具有多个测试区32,每一测试区32中具有多个朝上的探针321,多个探针321相对应于待测芯片50的多个焊垫501 ;一检测器40,与探针座30电性连接,例如以导线60的有线连接,或者以无线连接的方式连接。再接着,请参阅图3,为本技术的检测芯片的剖视图。如图3所示,在检测时,托盘10、基板20及探针座30的组合,会使探针321穿过第二测试孔22至第一测试孔14 ;托盘10上方会配置有一压置板70,将待测芯片50往下压,并使每一待测芯片50的多个焊垫501皆全部电性连接于探针座30上的每一测试区32的多个探针321,以检测托盘10上的每一待测芯片50 ;而其测量结果会经由探针座30传至检测器40,在其上显示检测结果。通过连接一整片探针座30,可在同一时间检测大批芯片,增加检测芯片的数量,减少制程大量的工时,并增加测试者的收益,亦会对后续产品的进度产生正向效益。请参阅图4,为本实用 新型另一实施例的芯片测试机的剖视图。如图4所示,在本实施例中,芯片测试机具有多个托盘10、10’、10”…10n,每一托盘10上具有多个放置槽12及第一测试孔14 ;每一托盘10、10’、10”…IOn各具有相对应的基板20、20’、20”...20n,每一基板20具有多个第二测试孔22 ;在此要说明,每一托盘10上的放置槽12系呈现单列排列的结构,而对应的基板20的第二测试孔22亦呈现单列排列的结构,而每一托盘10及基板20之间可相互组合及拆卸。接着,在一基板20下方配置一探针座30,探针座30具有多个测试区32,每一测试区中具有多个朝上的探针321 ;同样的,探针座30上的测试区32呈现单列排列的结构,与托盘10及基板20相对应;一检测器40,与探针座30电性连接,例如以导线60的有线连接,或者以无线连接的方式连接;而托盘10、基板20及探针座30的其余构造及各结构相对应关系,如图1 图3的实施例所述,在此不再加以赘述。接着,请参阅图5A 图5B,为本技术另一实施例的芯片测试机的实施示意图。请先参阅图5A,在测试时,探针座30会先对一托盘10上的待测芯片50(托盘10上的一排待测芯片50本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种芯片测试机,其特征在于包括:?一托盘,具有一上表面及相对于该上表面的一下表面;?多个放置槽,形成于该托盘的上表面,并于每该放置槽内具有一贯穿该托盘的第一测试孔;?一基板,具有一上表面及相对于该上表面的一下表面,配置于该托盘下方,在该基板上具有多个与该第一测试孔相对应的第二测试孔;?一探针座,配置于该基板下方,具有多个测试区,每该测试区中具有多个朝上的探针,该些探针相对应该基板的该第二测试孔;及?一检测器,与该探针座电性连接。

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试机,其特征在于包括: 一托盘,具有一上表面及相对于该上表面的一下表面; 多个放置槽,形成于该托盘的上表面,并于每该放置槽内具有一贯穿该托盘的第一测试孔; 一基板,具有一上表面及相对于该上表面的一下表面,配置于该托盘下方,在该基板上具有多个与该第一测试孔相对应的第二测试孔; 一探针座,配置于该基板下方,具有多个测试区,每该测试区中...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈石矶
申请(专利权)人:标准科技股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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