ESD保护器件及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种即使重复施加静电、特性也不会变差的、具有稳定特性的ESD保护器件及其制造方法。该ESD保护器件包括：相对电极(2)，该相对电极(2)包括相对地形成在陶瓷基材(1)的表面上的一侧相对电极(2a)和另一侧相对电极(2b)；以及放电辅助电极(3)，该放电辅助电极(3)以分别与一侧相对电极和另一侧相对电极相接触、并从一侧相对电极横跨到另一侧相对电极的方式设置，放电辅助电极包含金属粒子、半导体粒子以及玻璃质，并且，金属粒子间、半导体粒子间、以及金属粒子与半导体粒子之间经由玻璃质而结合，并且，金属粒子的平均粒径X为1.0μm以上，放电辅助电极的厚度Y与金属粒子的平均粒径X的关系满足0.5≤Y/X≤3的条件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种保护半导体装置等不受静电破坏的ESD保护器件及其制造方法。
技术介绍
近年来，在使用民用设备时，作为输入输出接口的线缆的插拔次数趋于增加，处于易对输入输出连接器部施加静电的状况。另外，随着信号频率的高频化，设计规则的微细化导致难以完善路径，使得LSI本身对于静电变得较为脆弱。因此，保护LSI等半导体装置不受静电放电(ESD) (Electron-StaticsDischarge:静电释放)影响的ESD保护器件已被广泛使用。作为这样的ESD保护器件，提出了具备多孔结构部的过电压保护元件，该多孔结构部连接于第一电极与第二电极之间，并通过使用包含非导体粉末(碳化硅粉末)、金属导体粉末(Cu粉末)、以及粘接剂(玻璃)在内的过电压保护元件的材料、来进行烧成处理，从而形成该多孔结构部。然而，在采用该过电压保护元件的情况下，粘接材料(玻璃)的添加是不可缺的，因此可能会产生如下的问题。(I)因玻璃的分散不良，使得产品特性的偏差趋于增大，从而难以提供可靠性较高的产品。(2)因玻璃的分散不良，使得在重复施加ESD的情况下，抗短路特性趋于变差。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.29 JP 2010-2184691.一种ESD保护器件，包括: 相对电极，该相对电极包括隔开间隔、并相对地形成于陶瓷基材的表面上的一侧相对电极和另一侧相对电极；以及 放电辅助电极，该放电辅助电极以分别与构成所述相对电极的所述一侧相对电极和所述另一侧相对电极相接触、并从所述一侧相对电极横跨到所述另一侧相对电极的方式设置， 所述放电辅助电极包含金属粒子、半导体粒子以及玻璃质， 所述金属粒子间、所述半导体粒子间、以及所述金属粒子与所述半导体粒子之间经由所述玻璃质而结合， 所述金属粒子的平均粒径XSl.0ym以上，所述放电辅助电极的厚度Y与所述金属粒子的平均粒径X的关系满足0.5彡Y/X彡3的条件。2.如权利要求1所述的ESD保护器件，其特征在于， 所述陶瓷基材含有玻璃成分，且在所述放电辅助电极与所述陶瓷基材之间包括密封层，该密封层用于防止玻璃成分从所述陶瓷基材侵入所述放电辅助电极。3.如权利要求1或2所述的ESD保护器件，其特征在于， 包括保护层，该保护层覆盖所述放电辅助电极的露出面。4.如权利要求1至3中任一项所述的ESD保护器件，其特征在于， 所述金属粒子为Cu粒子。5.如权利要求1至4中任一项所述的E...

【专利技术属性】
技术研发人员：稗圃久美子，鹫见高弘，足立淳，浦川淳，筑泽孝之，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：
国别省市：