机械手装置和装卸载系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种机械手装置和装卸载系统。该机械手装置包括机械手和至少二个吸盘，所述吸盘安装于所述机械手上，所述吸盘用于吸附晶片，所述机械手用于将吸附的至少两个晶片从第一预定位置传输到第二预定位置。本实用新型专利技术中，机械手上安装有至少二个吸盘，吸盘可用于吸附晶片，因此机械手能够通过吸盘一次抓取至少二个晶片，这极大的提高了机械手装置的取片效率，从而提高了装卸载过程的效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备领域，特别涉及一种机械手装置和装卸载系统。
技术介绍
目前，常用的晶硅太阳能电池制造设备为等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition,以下简称:PECVD)设备。图1 为一种PECVD设备的结构示意图，如图1所示，该PECVD设备包括:预热腔100、工艺腔200、冷却腔300、冷却台400、载板回收系统500和装卸载台600。PECVD设备的工作流程是:装卸载台600将晶片装载于载板上；将载板传输到预热腔100中，由预热腔100对载板上的晶片进行预热处理；将载板传输到工艺腔200中，由工艺腔200对载板上的晶片进行镀膜处理；将载板传输到冷却腔300中，由冷却腔300对晶片进行冷却处理；冷却处理后将载板传输到冷却台400上，对晶片进行进一步的冷却处理；然后由载板回收系统500将载板传输到装卸载台600上，由装卸载台600将晶片从载板上卸下。其中，装卸载台600可通过装卸载系统执行对晶片的装卸载过程。图2为一种装卸载系统的应用示意图，如图2所示，该装卸载系统包括:机械手装置3、上料台I和下料台2，其中，机械手装置3包括机械手(图中未具体画出)和吸盘31，机械手上设置有一个吸盘31，上料台I上设置有上料台晶片准备位11，下料台2上设置有下料台晶片准备位21。下料台2上的某一下料台晶片准备位21准备就绪后，下料台2将下料信息发送到装卸载主程序控制模块，装卸载主程序控制模块根据下料信息控制机械手通过吸盘31从载板4上的某一载板晶片准备位41上抓取一个工艺处理后的晶片并将该工艺处理后的晶片传输到下料台晶片准备位21上；上料台I上的某一上料台晶片准备位11准备就绪后，上料台I将上料信息发送到装卸载主程序控制模块，装卸载主程序控制模块根据上料信息控制机械手通过吸盘31从上料台晶片准备位11上抓取一个待处理的晶片并将该待处理的晶片传输到载板4上的某一载板晶片准备位41上。重复执行上述动作，直到载板4上工艺处理后的晶片全部被替换成待处理的晶片，此时装卸载过程完成。现有技术中，由于机械手上仅设置有一个吸盘31，因此机械手一次仅能抓取一个晶片，这导致机械手装置3的取片效率低，从而降低了装卸载过程的效率。
技术实现思路
本技术提供一种机械手装置和装卸载系统，用以提高机械手装置的取片效率，从而提闻装卸载过程的效率。为实现上述目的，本技术提供了 一种机械手装置，包括:机械手和至少二个吸盘，所述吸盘安装于所述机械手上，所述吸盘用于吸附晶片，所述机械手用于将所述晶片从第一预定位置传输到第二预定位置。可选地，所述吸盘的数量根据所述机械手的载重、坐标控制精度、角度控制精度和/或工作空间设置。可选地，所述吸盘的数量为二个且两个所述吸盘的距离与载板上的载板晶片准备位对应。可选地，所述机械手装置还包括:吸盘安装架，所述吸盘固定于所述吸盘安装架上，所述吸盘安装架固定于所述机械手上。为实现上述目的，本技术还提供了一种装卸载系统，包括:上料台、下料台和机械手装置，所述机械手装置包括机械手和至少二个吸盘，所述吸盘安装于所述机械手上；所述机械手用于将所述吸盘上吸附的完成工艺后的晶片从载板传输到所述下料台上，以及用于将所述吸盘上吸附的待工艺的晶片从所述上料台传输到所述载板上。可选地，所述载板上设置有载板晶片准备位，所述上料台上设置有上料台晶片准备位，所述下料台上设置有下料台晶片准备位；所述机械手用于当所述下料台晶片准备位准备就绪后，通过所述吸盘从所述载板晶片准备位上抓取工艺后的晶片，并将工艺后的晶片传输到所述下料台晶片准备位上；以及当所述上料台晶片准备位准备就绪后，通过所述吸盘从所述上料台晶片准备位上抓取待工艺的晶片，并将待工艺的晶片传输到载板晶片准备位上。可选地，所述吸盘的数量根据所述机械手的载重、坐标控制精度、角度控制精度和/或工作空间设置。可选地，所述吸盘的数量为二个且两个所述吸盘的距离与载板上的载板晶片准备位对应。可选地，准备就绪的所述下料台晶片准备位的数量与所述吸盘的数量相等，准备就绪的所述上料台晶片准备位的数量与所述吸盘的数量相等。可选地，所述机械手装置还包括:吸盘安装架，所述吸盘固定于所述吸盘安装架上，所述吸盘安装架固定于所述机械手上。本技术具有以下有益效果:本技术提供的机械手装置和装卸载系统的技术方案中，机械手上安装有至少二个吸盘，吸盘可用于吸附晶片，因此机械手能够通过吸盘一次抓取至少二个晶片，这极大的提闻了机械手装置的取片效率，从而提闻了装卸载过程的效率。附图说明图1为一种PECVD设备的结构示意图；图2为一种装卸载系统的应用不意图；图3为本技术实施例一提供的一种机械手装置的结构示意图；图4为本技术实施例二提供的一种装卸载系统的结构示意图；图5为实施例二中装卸载系统的应用示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，以下结合附图对本技术提供的机械手装置和装卸载系统进行详细描述。图3为本技术实施例一提供的一种机械手装置的结构示意图，如图3所示，该机械手装置包括:机械手30和至少二个吸盘31，吸盘31安装于机械手30上，吸盘31用于吸附晶片，机械手30用于将晶片从第一预定位置传输到第二预定位置。本实施例中，优选地，吸盘31的数量为二个。由于每个吸盘31可吸附一个晶片，因此机械手30每次可通过吸盘31抓取二个晶片。由于吸盘31是安装于机械手30上的，因此机械手30执行动作时可带动吸盘31动作，从而实现将吸盘31上的晶片从第一预定位置传输到第二预定位置。由于吸盘31的数量为二个，因此机械手30每次可将二个晶片从第一预定位置传输到第二预定位置。例如:第一预定位置可以为载板上的载板晶片准备位，第二预定位置可以为下料台的下料台晶片准备位；或者，第一预定位置可以为上料台晶片准备位，第二预定位置可以为载板上的载板晶片准备位。可选地，在实际应用中，吸盘31的数量还可以为三个以上。具体地，吸盘31的数量可根据机械手30的载重、坐标控制精度、角度控制精度和/或工作空间设置。机械手30上安装的吸盘31的数量越多，机械手30每次可传输的晶片数量越多。但是，由于吸盘31是安装于机械手30上并由机械手30带动，因此吸盘31的数量需要在满足机械手30的载重、坐标控制精度、角度控制精度和/或工作空间的要求的前提下进行设置，也就是说，在不影响机械手30运行的前提下，可以尽可能的增加吸盘31的数量，以提高机械手30每次可传输晶片的数量。其中，由于机械手30的角度控制精度这一参数对晶片装卸载的影响最大，因此在设置吸盘31的数量的过程中将优选考虑角度控制精度这一参数。优选地，吸盘31的数量为二个，且两个所述吸盘的距离与载板上的载板晶片准备位对应。可选地，机械手装置还可以包括:吸盘安装架32。吸盘31可通过该吸盘安装架32安装于机械手30上。具体地，吸盘31固定于吸盘安装架22上，吸盘安装架32固定于机械手30上，从而实现将吸盘31安装于机械手30上。本实施例提供的机械手装置中，机械手上安装有至少二个吸盘，吸盘可用于吸附晶片，因此机械手能够通过吸盘一次抓取至少二个晶片，这极大的提高了机械手装置的取片效率，从而提闻了装卸载本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机械手装置，其特征在于，包括：机械手和至少二个吸盘，所述吸盘安装于所述机械手上，所述吸盘用于吸附晶片，所述机械手用于将吸附的至少两个晶片从第一预定位置传输到第二预定位置。

【技术特征摘要】
1.一种机械手装置，其特征在于，包括:机械手和至少二个吸盘，所述吸盘安装于所述机械手上，所述吸盘用于吸附晶片，所述机械手用于将吸附的至少两个晶片从第一预定位置传输到第二预定位置。2.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，所述吸盘的数量根据所述机械手的载重、坐标控制精度、角度控制精度和/或工作空间设置。3.根据权利要求2所述的机械手装置，其特征在于，所述吸盘的数量为二个且两个所述吸盘的距离与载板上的载板晶片准备位对应。4.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，所述机械手装置还包括:吸盘安装架，所述吸盘固定于所述吸盘安装架上，所述吸盘安装架固定于所述机械手上。5.一种装卸载系统，其特征在于，包括:上料台、下料台和机械手装置，所述机械手装置包括机械手和至少二个吸盘，所述吸盘安装于所述机械手上； 所述机械手用于将所述吸盘上吸附的完成工艺后的晶片从载板传输到所述下料台上，以及用于将所述吸盘上吸附的待工艺的晶片从所述上料台传输到所述载板上。6.根据权利要求5所述的装卸载系统，其特征在于，所述载板上设置有载板晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：