【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于用物理冶金技术提纯多晶硅的
，特别涉及一种电子束熔炼提纯多晶硅的设备。
技术介绍
太阳能级多晶硅材料是最主要的光伏材料，它应用于太阳能电池，可以将太阳能转化为电能，在常规能源紧缺的今天，太阳能具有巨大的应用价值，近年来，全球太阳能光伏产业迅速增长，太阳能电池产量快速增加，直接拉动了多晶硅需求的急剧膨胀。但太阳能级多晶硅材料高昂的制造成本以及复杂的制造工艺是制约光伏产业大发展的瓶颈，严重阻碍了我国太阳能电池的推广和使用。我国能够自主生产的太阳能级多晶硅不足需求的5%，绝大部分原材料需要进口，开发适合我国国情的太阳能级多晶硅制备技术符合国家能源战略的要求，是我国光伏产业大发展的必由之路。为此，世界各国都在积极开发具有生产周期短、污染小、成本低、工艺相对简单、规模大小可控的制备高纯硅材料的新工艺方法，而冶金法由于具备以上优点，被认为是最能有效地降低多晶硅生产成本的技术之一，目前已成为世界各国竞相研发的热点。电子束熔炼技术是冶金法制备太阳能级多晶硅中重要的方法之一，它是利用高能量密度的电子束作为熔炼热源的工艺方法，一般的电子束熔炼方法是通过熔化块体硅...
【技术保护点】
一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的设备，由上腔室（7）和下腔室（8）构成腔室整体，上腔室（7）固定安装于地面基体支架上，上腔室顶端安装有电子枪（1），真空泵组（2）通过真空管路与上腔室（7）相通，其特征是：所述上腔室（7）底板上通过坩埚架（6）活动安装有熔炼坩埚（5），滑动机构（15）通过传动杆（16）安装于熔炼坩埚一侧，上腔室（7）侧壁上固定安装有装料箱（17），送料带（18）固定安装于装料箱（17）之上，送料带（18）送料口位于熔炼坩埚正上方，下腔室（8）通过导轨机构（13）活动安装于支撑腿（14）之上，且位于上腔室正下方，?下腔室（8）底板上固定安装有转动机构（...
【技术特征摘要】
1.一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的设备，由上腔室(7)和下腔室(8)构 成腔室整体，上腔室(7)固定安装于地面基体支架上，上腔室顶端安装有电子枪(1)，真空 泵组(2)通过真空管路与上腔室(7)相通，其特征是:所述上腔室(7)底板上通过坩埚架(6) 活动安装有熔炼坩埚(5)，滑动机构(15)通过传动杆(16)安装于熔炼坩埚一侧，上腔室(7) 侧壁上固定安装有装料箱(17)，送料带(18)固定安装于装料箱(17)之上，送料带(18)送料 口位于熔炼坩埚正上方，下腔室(8)通过导轨机构(13)活动安装于支撑腿(14)之上，且位 于上腔室正下方，下腔室(8)...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭毅，姜大川，李坚之，胡志刚，安广野，
申请(专利权)人：青岛隆盛晶硅科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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