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本实用新型属于用物理冶金技术提纯技术领域，特别涉及一种电子束熔炼提纯多晶硅的设备，由上腔室和下腔室构成腔室整体，所述上腔室底板上通过坩埚架活动安装有熔炼坩埚，滑动机构通过传动杆安装于熔炼坩埚一侧，上腔室侧壁上固定安装有装料箱，送料带固定安装...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。

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