一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备制造技术

技术编号:8784308 阅读:311 留言:0更新日期:2013-06-09 23:48
本实用新型专利技术属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备。该设备中水冷盘活动安装于真空腔室底部,石墨板置于水冷盘顶端,石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接,另一端与石墨托盘嵌套连接,坩埚置于石墨托盘之上,石墨发热体套于坩埚外围,碳毡保温桶套于石墨发热体之外碳毡保温盖上开有孔,置于碳毡保温桶顶端,石英管活动安装于真空腔室顶端,上端通过阀门与真空装置活动密封连接,真空装置上安装有真空计。本实用新型专利技术的设备是在原有定向凝固设备的基础之上增加了石英管、通气管道和真空装置,设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化大规模生产。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于冶金提纯
,特别涉及一种提取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备。
技术介绍
太阳能光伏产业的发展依赖于对硅原料的提纯,在对硅原料进行提纯的过程中,定向凝固方法对去除硅原料中分凝系数非常小的金属杂质至关重要,是目前太阳能级多晶硅提纯的最有效的方法之一,此外,定向凝固技术广泛应用于冶金提纯。定向凝固是采用强制的手段在熔体中形成特定方向的温度梯度,使温度低的部位的熔体结晶成核,成为熔体凝固的起点首先凝固,由于温度梯度的存在,熔体沿着热流相反的方向凝固,获得具有特定取向的柱状晶。定向凝固提纯是利用杂质元素在熔体与固体中的溶解度不同,在凝固过程中分凝系数较小的杂质元素被推向固液界面前沿,在熔体中不断富集,最后在铸锭的尾部凝固,将铸锭尾部切除,即可达到提纯的目的。然而,铸锭在凝固尾声,杂质富集于坩埚顶部的熔体,在最后缓慢凝固过程中,含量高的杂质会向杂质含量低的部位扩散,使得硅纯度随着保温时间的延长反而逐渐降低,这影响了提纯效果,且在这种情况下,切除的尾部尾料高达259Γ35%,即成品率仅为65-75%,而硅锭的硬度比较大,需要大功率切割设备才能将提纯的硅锭和尾部杂质含量高的铸锭尾本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备,由真空腔室(2)构成外壁,外壁上安装有真空管路(15),真空管路一端与真空泵组(14)相连,其特征是:外壁上固定安装有通气管路(16),且活动安装有尾料收集箱(13),水冷盘(12)活动安装于真空腔室底部,石墨板(11)置于水冷盘顶端,石墨板上开有孔,石墨支柱(10)一端通过孔与石墨板嵌套连接,另一端与石墨托盘(9)嵌套连接,坩埚置于石墨托盘之上,石墨发热体(6)套于坩埚(7)外围且固定于真空腔室侧壁,碳毡保温桶(4)套于石墨发热体之外且固定于真空腔室侧壁,碳毡保温盖(3)上开有孔,置于碳毡保温桶顶端,感应线圈(5)套于碳毡保温桶之外且固定于真空腔...

【技术特征摘要】
1.一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备,由真空腔室(2)构成外壁,夕卜壁上安装有真空管路(15),真空管路一端与真空泵组(14)相连,其特征是:外壁上固定安装有通气管路(16),且活动安装有尾料收集箱(13),水冷盘(12)活动安装于真空腔室底部,石墨板(11)置于水冷盘顶端,石墨板上开有孔,石墨支柱(10) —端通过孔与石墨板嵌套连接,另一端与石墨托盘(9)嵌套连接,坩埚置于石墨托盘之上,石墨发热体(6)套于坩埚(7)外围且固定于真空腔室侧壁,碳毡保温桶(4)套于石墨发热体之外且固定于真空腔室侧壁,碳毡保温盖(3)上开有孔,置于碳毡保温桶顶端,感应线圈(5)套于碳毡保温桶之外且固定于真空腔室侧壁之上,石英管(I)活动安装于真空腔室顶端,且其下端穿过碳毡保温盖置于坩埚正上方中心位置,上端通过阀门(17...

【专利技术属性】
技术研发人员:谭毅姜大川安广野石爽吴少辉
申请(专利权)人:青岛隆盛晶硅科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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