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本实用新型属于冶金提纯技术领域，特别涉及一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备。该设备中水冷盘活动安装于真空腔室底部，石墨板置于水冷盘顶端，石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接，另一端与石墨托盘嵌套连接，坩埚置于石墨托盘之上，石墨发热体...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。

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