一种四(二甲胺)锆升华提纯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种四(二甲胺)锆升华提纯装置，包括瓶体，所述瓶体由外层到内层分别设有导热油腔体、真空腔体和冷指腔体；所述导热油腔体外部一侧下部设有用于送入导热油的阀门一，所述导热油腔体外部另一侧上部设有用于送出导热油的阀门二；所述真空腔体上部设有用于连接真空泵的真空阀门；所述冷指腔体通过连接磨口与冷却器连接，所述冷却器顶部设有用于送入冷却液的阀门三，所述冷却器上还设有用于送出冷却液的阀门四。本实用新型专利技术提供的一种四(二甲胺)锆升华提纯装置，不仅实现了四(二甲胺)锆的有效提纯(纯度超过99.99％)，过程中加热温度小于100℃，而且保持稳定，有效减低了四(二甲胺)锆的热分解可能性。提高了收率，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及四(二甲胺)锆的分离、提纯领域，特别涉及一种四(二甲胺)锆升华提纯装置。
技术介绍
随着IC集成度的进一步提高，器件尺寸不断减小，四(二甲胺)锆化合物是一类越来越受到关注的材料，锆氧化物薄膜是很可能用于COMS和下一代DRAM中的候选高介电常数(高K)绝缘层材料。四(二甲胺)锆的分离、提纯有报道用蒸馏的方法进行提纯，虽然能达到一定的提纯目的，但由于蒸馏过程中较高的加热底温(大于120℃)，造成四(二甲胺)锆的大量分解，收率较低，增加了工艺成本，同时由于其为低熔点固体，会造成管路系统堵塞，不利于工艺参数的控制，甚至出现安全事故。又如CN204676015U公开了一种二甲胺回收装置，包括卧式反应蒸发釜、一级精馏塔、二级精馏塔、一级冷凝器、二级冷凝器、尾气冷凝器、气液分离器、吸收液中间罐、清水中间罐、回流中间罐、回流泵、进料泵、吸收液泵，所述含二甲胺废水和液碱在卧式反应蒸发釜进行反应，产生的二甲胺气体在一级精馏塔和二级精馏塔两重精馏，本技术通过两级精馏对二甲胺逐步提纯，二甲胺提纯浓度高，二甲胺的最终提纯浓度高达45％，提纯后的釜残液作为吸收液，进一步提高二甲胺的回收率；利用卧式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四(二甲胺)锆升华提纯装置，包括瓶体，其特征在于：所述瓶体由外层到内层分别设有导热油腔体(8)、真空腔体(9)和冷指腔体(10)；所述导热油腔体(8)外部一侧下部设有用于送入导热油的阀门一(4)，所述导热油腔体(8)外部另一侧上部设有用于送出导热油的阀门二(5)；所述真空腔体(9)上部设有用于连接真空泵的真空阀门(3)；所述冷指腔体(10)通过连接磨口(6)与冷却器(11)连接，所述冷却器(11)顶部设有用于送入冷却液的阀门三(1)，所述冷却器(11)上还设有用于送出冷却液的阀门四(2)。

【技术特征摘要】
1.一种四(二甲胺)锆升华提纯装置，包括瓶体，其特征在于：所述瓶体由外层到内层分别设有导热油腔体(8)、真空腔体(9)和冷指腔体(10)；所述导热油腔体(8)外部一侧下部设有用于送入导热油的阀门一(4)，所述导热油腔体(8)外部另一侧上部设有用于送出导热油的阀门二(5)；所述真空腔体(9)上部设有用于连接真空泵的真空阀门(3)；所述冷指腔体(10)通过连接磨口(6)与冷却器(11)连接，所述冷却器(11)顶部设有用于送入冷却液的阀门三(1)，所述冷却器(11)上还设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：苏州复纳电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32