【技术实现步骤摘要】
一种涂布载体薄膜输送防护装置
本技术涉及光阻干膜生产
，尤其涉及一种涂布载体薄膜输送防护装置。
技术介绍
光阻干膜生产过程中，原料载体薄膜PET从PET卷出翻转机台送出，输送到千级无尘室进行光刻胶层涂布于PET载体层上的涂布作业。目前的生产过程中，在PET输出到千级无尘室之间，未有做任何蚊虫防护措施，在转辊的转动过程中，蚊虫容易随之卷入到膜面上而形成蚊虫类缺陷。尤其在蚊虫高发季节，这一问题尤为突出，为生产的稳定进行及产品质量的提高带了很大的困扰。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种涂布载体薄膜输送防护装置，以防止蚊虫进入薄膜输送机台区域而对膜面所造成的缺陷，为生产的稳定进行及产品质量的提高提供有效的保障。本技术的目的通过以下技术方案予以实现:本技术提供的一种涂布载体薄膜输送防护装置，包括隔离区和过滤送风设备；所述隔离区围蔽在载体薄膜输送机台的外围、且与无尘室邻接，所述隔离区上以及隔离区与无尘室之间设置有压力出口 ；所述过滤送风设备设置在隔离区与外界之间、以及隔离区与无尘室之间。本技术通过设置隔离区以围蔽载体薄膜输送机台，从而防止蚊虫的进入。通过过滤送风设备的设置，一方面保持隔离区的洁净度，另一方面结合压力出口的设置以保持隔离区与无尘室之间的压力关系，以保持生产的稳定进行。进一步地，所述过滤送风设备可以采用风机滤器机组设备，即FFU (Fan Filter Units)设备。本技术具有以下有益效果:在PET载体薄膜输送至无尘室过程中，可有效防止蚊虫进入PET机台区域，从而避免了由此对膜面所造成的蚊虫类缺陷；此外，不仅保证了 PE...
【技术保护点】
一种涂布载体薄膜输送防护装置，其特征在于：包括隔离区(1)和过滤送风设备(2)；所述隔离区(1)围蔽在载体薄膜输送机台(3)的外围、且与无尘室(4)邻接，所述隔离区(1)上以及隔离区(1)与无尘室(4)之间设置有压力出口(5)；所述过滤送风设备(2)设置在隔离区(1)与外界之间、以及隔离区(1)与无尘室(4)之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴琨福，陈沃明，邝少全，
申请(专利权)人：长兴广州电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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