【技术实现步骤摘要】
一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置
[0001]本技术涉及光阻干膜生产
,尤其涉及检测作业中的氮气发生器气路装置。
技术介绍
[0002]光阻干膜的生产中需要使用气相色谱仪(GC)、热失重分析仪(TGA)、差示扫描量热仪(DSC)等检测仪器。目前,产生载气的氮气发生器是通过一分二接头形成两条气路(第一气路和第二气路),其中第一气路直接通向4台GC,第二气路直接通向TGA和DSC。GC因生产需要需常通氮气,TGA与DSC则按需使用。当使用TGA与DSC时,会瞬间增加第二气路的流量,且由于TGA与DSC会将多余的氮气排出,导致第二气路氮气需求量过大,使得第一气路的氮气流量发生波动甚至不足,从而影响GC的正常运行与分析结果。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置,以有效解决通向GC气路的氮气流量波动与流量不足的问题,同时为通向TGA与DSC的气路提供足够流量的氮气并避免氮气的浪费。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案予以实现:
[0005]本技术提供的一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置,包括氮气发生器、由氮气发生器分别连接到气相色谱仪的第一气路和连接到热失重分析仪与差示扫描量热仪的第二气路;所述第二气路上、依通往热失重分析仪与差示扫描量热仪前端的方向上,依次设置有阀门、压力表、储气罐,所述压力表设置在储气罐的进气口处。
[0006]本技术具有以下有益效果:
[0007](1)本技术设计简单,安装方便 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置,包括氮气发生器(1)、由氮气发生器(1)分别连接到气相色谱仪(2)的第一气路(3)和连接到热失重分析仪(4)与差示扫描量热仪(5)的第二气路(6);其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑彬铭,林燕,林耿弘,胡慧,
申请(专利权)人:长兴广州电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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