下载一种涂布载体薄膜输送防护装置的技术资料

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本实用新型公开了一种涂布载体薄膜输送防护装置,包括隔离区和过滤送风设备;所述隔离区围蔽在载体薄膜输送机台的外围、且与无尘室邻接,所述隔离区上以及隔离区与无尘室之间设置有压力出口;所述过滤送风设备设置在隔离区与外界之间、以及隔离区与无尘室之间...
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