【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种氮化硅坩埚，其特征在于，自外向内依次为氮化硅外壁层、富硅层、氮化硅内壁层和氧化锆涂层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭江涛，王先进，郑志东，
申请(专利权)人：浙江昱辉阳光能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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