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本发明公开了一种氮化硅坩埚，该种坩埚自外向内依次为氮化硅外壁层，富硅层，氮化硅内壁层，氧化锆涂层。其中外壁层可以替代石墨坩埚在高温下起支撑作用，内壁层可以抵抗一定量的热冲击，富硅层在高温下处于软化状态并且气孔率较高，当热冲击传到此处时，通过...
该专利属于浙江昱辉阳光能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江昱辉阳光能源有限公司授权不得商用。

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