【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种溅射靶材的制造方法,包括如下步骤:对多个金属氧化物进行第一焙烧,以形成结晶;将所述结晶粉碎为粉末;对所述粉末及氧化锌进行第二焙烧,以形成烧结体;对所述烧结体进行机械加工,以形成靶材;对所述靶材进行加热处理;以及将所述靶材贴合到垫板。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:山崎舜平,丸山哲纪,
申请(专利权)人:株式会社半导体能源研究所,
类型:发明
国别省市:
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