绑定式磁控溅射旋转靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种绑定式磁控溅射旋转靶材，包括背管和固定套结在背管外壁的至少一个靶管，所述背管外壁设有开口槽，所述靶管是通过填充在开口槽内的无铟钎焊材料经旋转加热焊接固定在背管外壁的，所述靶管内壁与背管外壁间隙为0.2—0.4mm，所述靶管为两个以上时，靶管与靶管之间间隙小于0.5mm，使用硅橡胶垫和高温胶带密封，所述靶管为三个以上时，设置在两端部的两个靶管比中间靶管厚30％—50％。该绑定式磁控溅射旋转靶材简单易得，成本低；尺寸可根据实际需要调节，灵活不受限制；溅射稳定，利用率高。

【技术实现步骤摘要】
201620193858

【技术保护点】
一种绑定式磁控溅射旋转靶材，包括背管(1)和固定套结在背管(1)外壁的靶管(3)，其特征在于：所述固定套结在背管(1)外壁的靶管(3)为至少一个，所述背管(1)外壁设有开口槽(2)，靶管(3)通过填充在开口槽(2)内的无铟钎焊材料旋转加热焊接固定在背管(1)外壁。

【技术特征摘要】
1.一种绑定式磁控溅射旋转靶材，包括背管(1)和固定套结在背管(1)外壁的靶管(3)，其特征在于：所述固定套结在背管(1)外壁的靶管(3)为至少一个，所述背管(1)外壁设有开口槽(2)，靶管(3)通过填充在开口槽(2)内的无铟钎焊材料旋转加热焊接固定在背管(1)外壁。2.根据权利要求1所述绑定式磁控溅射旋转靶材，其特征在于：所述开口槽(2)为半圆形螺旋槽。3.根据权利要求2所述绑定式磁控溅射旋转靶材，其特征在于：所述半圆形螺旋槽螺距是槽深的一半。4.根据权利要求1所述绑定式磁控溅射旋转靶材，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐从康，
申请(专利权)人：无锡舒玛天科新能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32