一种钼合金基体上FeCrAl镀层的制备方法技术

技术编号:13549263 阅读:73 留言:0更新日期:2016-08-18 15:12
本发明专利技术公开了一种钼合金基体上FeCrAl镀层的制备方法,将钼合金基体清洗干燥后放入磁控溅射离子镀设备的真空室中,靶材至少包含1个316l不锈钢靶、1个纯铬金属靶和1个纯铝金属靶,将真空室抽真空,然后对钼合金基体进行离子轰击清洗,清洗后在钼合金基体表面沉积一层铬打底层,最后在铬打底层上沉积FeCrAl镀层。本发明专利技术方法具有工艺简捷稳定、镀层成分控制精确、易实现工业化生产的特点。所制备的FeCrAl镀层与钼合金基体结合良好,结构致密,钼合金基体无氧化现象。

【技术实现步骤摘要】
201610403883

【技术保护点】
一种钼合金基体上FeCrAl镀层的制备方法,其特征在于,将钼合金基体清洗干燥后放入磁控溅射离子镀设备的真空室中,靶材至少包含1个316l不锈钢靶、1个纯铬金属靶和1个纯铝金属靶,将真空室抽真空,然后对钼合金基体进行离子轰击清洗,清洗后在钼合金基体表面沉积一层铬打底层,最后在铬打底层上沉积FeCrAl镀层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张国君曹琳琳王涛任帅
申请(专利权)人:西安理工大学
类型:发明
国别省市:陕西;61

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