【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种基于微米级阵列结构和氧化钇薄膜的蓝宝石光学性能提升方法,尤其涉及一种蓝宝石表面处理方法及参数。
技术介绍
蓝宝石具有优良的力学性能、热稳定性和光学性能,是一种广泛应用的材料。但是,蓝宝石折射率(~1.7)较空气大得多,导致光线在蓝宝石与空气界面的反射率较大,严重影响了蓝宝石光学性能。目前,改善蓝宝石光学性能的方法主要分两类:一是表面镀膜,通常是多层膜;二是表面微结构化处理。表面镀膜存在膜系选择少、不同薄膜间匹配困难等问题,而表面微结构化处理设计复杂。总之,在改善蓝宝石光学性能方面仍有巨大发展空间。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种提高蓝宝石光学性能的方法,改善蓝宝石光学性能,特别是降低反射率,提高总透过率和衍射透过率。为解决上述技术问题,本专利技术提供的技术方案是:蓝宝石首先经过微结构化处理,在其表面形成周期性圆锥结构;其次以具有微结构表面的蓝宝石为基底,采用反应磁控溅射在其表面制备氧化钇薄膜。周期性圆锥结构的参数为:圆锥高1.2~1.6μm、底面直径2.4~3.0μm、周期0.4~0.6μm。磁控溅射制备氧化钇薄膜的关键参数为:功率150~200W、溅射气压1~5Pa、氧气流量2~4sccm、氩气流量20~40sccm。溅射完成后,在340~400℃空气中保温退火1~2h。控制溅射时间获得氧化钇薄膜厚度为100~300nm。有益效果:本专利技术将表面镀膜与表面微结构化处理进 ...
【技术保护点】
一种基于微米级阵列结构和氧化钇薄膜的蓝宝石光学性能提升方法,其特征在于:蓝宝石首先经过微结构化处理,在其表面形成周期性圆锥结构;其次以具有微结构表面的蓝宝石为基底,采用反应磁控溅射在其表面制备氧化钇薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种基于微米级阵列结构和氧化钇薄膜的蓝宝石光学性能提升方法,其特征在于:蓝宝石
首先经过微结构化处理,在其表面形成周期性圆锥结构;其次以具有微结构表面的蓝宝石
为基底,采用反应磁控溅射在其表面制备氧化钇薄膜。
2.如权利要求1所述的基于微米级阵列结构和氧化钇薄膜的蓝宝石光学性能提升方法,其特
征在于:周期性圆锥结构结构参数为:圆锥高1.2~1.6μm、底面直径2.4~3.0μm、周期
0.4~0.6μm。
3.如权利要求1所述的基于微米级阵列结构...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚正军,徐尚君,周金堂,方超,
申请(专利权)人:南京航空航天大学,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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