【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种膜沉积系统，包括：沉积室，具有其中包括多个靶体组件的靶体布置，每个所述靶体组件都包括靶体构件以及专用磁体或多个专用磁体，每个所述靶体组件都具有可单独控制的电源；以及工作台，用于在其上接收工件。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：高宗恩，蔡明志，周友华，江振家，李志聪，郭铭修，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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