【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空镀膜设备，包括镀膜室，该镀膜室包括腔壁，其特征在于：该真空镀膜设备还包括设有冷却液流道，该冷却液流道设置于腔壁内，以便用于装设冷却液体镀膜室进行冷却。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄登聪，徐华勇，刘振章，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。