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一种真空镀膜设备，包括镀膜室，该镀膜室包括腔壁，该真空镀膜设备还包括设有冷却液流道，该冷却液流道设置于腔壁内，以便用于装设冷却液体镀膜室进行冷却。本发明克服传统真空镀膜设备镀膜室冷却效果不好的问题，且加工成本低。...该专利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。