镀外缘全封闭带的镀膜工装制造技术

技术编号:8761447 阅读:187 留言:0更新日期:2013-06-06 23:09
本发明专利技术涉及一种镀外缘全封闭带的镀膜工装,主要适用于磁控溅射镀膜设备技术领域。本发明专利技术包括主干框架,主干框架上设置至少一个架设基片的架设单元,架设单元包括遮挡片、遮挡片固定梁和被镀膜片支撑固定架,遮挡片固定梁的两端固定在主干框架上,遮挡片通过所述固定孔与遮挡片固定梁固定,被镀膜片支撑固定架位于主干框架的非镀膜面的同一侧,被镀膜片支撑固定架的一端通过转轴与主干框架活动连接,遮挡片的边缘与所述架设单元的边缘之间有一圈间隙。本发明专利技术结构设计合理,使用方便,可实现镀外缘全封闭带,镀膜精确度高,成膜位置准确,边缘清晰无阴影,可镀任意形状的外缘全封闭的镀膜带,成本较低。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种镀外缘全封闭带的镀膜工装,包括主干框架,主干框架上设置至少一个架设基片的架设单元,其特征在于:所述架设单元包括遮挡片、遮挡片固定梁和被镀膜片支撑固定架,所述遮挡片固定梁的两端固定在主干框架上,该遮挡片固定梁位于主干框架的镀膜面,所述遮挡片上设置有固定孔,遮挡片通过所述固定孔与遮挡片固定梁固定,遮挡片与主干框架平行,所述被镀膜片支撑固定架位于主干框架的非镀膜面的同一侧,该被镀膜片支撑固定架的一端通过转轴与主干框架活动连接,所述主干框架上设有卡座,被镀膜片支撑固定架的另一端与卡座相配合,所述被镀膜片支撑固定架位于架设单元的上方,所述遮挡片的边缘与所述架设单元的边缘之间有一圈间隙。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵礼李志忠
申请(专利权)人:浙江蓝特光学股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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