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镀外缘全封闭带的镀膜工装制造技术
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文档序号:8761447
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本发明涉及一种镀外缘全封闭带的镀膜工装,主要适用于磁控溅射镀膜设备技术领域。本发明包括主干框架,主干框架上设置至少一个架设基片的架设单元,架设单元包括遮挡片、遮挡片固定梁和被镀膜片支撑固定架,遮挡片固定梁的两端固定在主干框架上,遮挡片通过所...
该专利属于浙江蓝特光学股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江蓝特光学股份有限公司授权不得商用。
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