蒸镀方法、蒸镀装置和有机EL显示装置制造方法及图纸

一边使基板(10)相对于蒸镀掩模(70)在隔开固定间隔分离的状态下相对移动，一边使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)通过蒸镀掩模的掩模开口(71)附着于基板，形成覆膜(90)。设与基板的法线方向正交并且与基板的相对移动方向正交的方向为第一方向、基板的法线方向为第二方向时，在蒸镀源开口和蒸镀掩模之间，沿第一方向配置有各自包括沿第二方向排列的多个控制板(80a、80b)的多个控制板列。由此，能够在大型的基板上形成抑制了端缘的模糊及其偏差的覆膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：园田通，川户伸一，井上智，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：