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一边使基板(10)相对于蒸镀掩模(70)在隔开固定间隔分离的状态下相对移动，一边使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)通过蒸镀掩模的掩模开口(71)附着于基板，形成覆膜(90)。设与基板的法线方向正交并且与基板的相对移...
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