【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体生长炉冷却
,尤其涉及一种炉壁冷却结构,同时还涉及使用该炉壁冷却结构的晶体生长炉。
技术介绍
目前市场上提供的晶体生长炉(如单晶炉)的炉壁冷却结构为内嵌导流板结构,也就是在晶体生长炉的内外炉壁之间的夹层中在上下方向上间隔平行设置有若干层导流板,相邻两层导流板之间的流道的溢流口和入水口相互重合,使得从炉壁底部流入内、外炉壁之间夹层中的冷却用水经由各个流道从炉壁顶部开设的出水口溢出,但是由于每个流道的溢流口和入水口之间均具有两条可相互连通的通道,也就是流道不能给冷却用水提供导向,只能通过冷却用水在流道内的堆积才能从溢流口流出,因而在冷却用水注满整个内、夕卜炉壁之间的夹层后,流至炉壁中部位置处的冷却用水流的流速会显著减小,而晶体生长炉在炉壁的中心位置处温度较高,因而在炉壁的中部位置处的冷却用水中常常会出现大量气泡,且这些气泡只能缓慢的在水流的推动下从出水口排出,甚至在多个气泡合并后会卡滞在上下相邻两个导流板之间,从而使得冷却用水中出现憋气的情况,使得炉壁中部位置处的散热不均匀,进而导致晶体生长炉的生产效率降低,使用寿命缩短。
技术实现思路
本技术的目的是提 ...
【技术保护点】
炉壁冷却结构,包括夹设在内、外炉壁之间的导流板,所述导流板绕设在内炉壁上,并在上下方向上沿螺旋绕向延伸,所述导流板的下方设有与导流板围成的流道连通的进水口,所述导流板的上方设有与导流板围成的流道连通的出水口,其特征在于,进水口处于流道的下端起始位置处,出水口处于流道上部末端位置处,且所述导流板围成的流道为连通进、出水口的单向通道。
【技术特征摘要】
1.壁冷却结构,包括夹设在内、外炉壁之间的导流板,所述导流板绕设在内炉壁上,并在上下方向上沿螺旋绕向延伸,所述导流板的下方设有与导流板围成的流道连通的进水口,所述导流板的上方设有与导流板围成的流道连通的出水口,其特征在于,进水口处于流道的下端起始位置处,出水口处于流道上部末端位置处,且所述导流板围成的流道为连通进、出水口的单向通道。2.体生长炉,包括内、外炉壁以及...
【专利技术属性】
技术研发人员:张博,赵东,
申请(专利权)人:登封市蓝天石化光伏电力装备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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