一种炉底冷却结构及使用该炉底冷却结构的晶体生长炉制造技术

技术编号:8287846 阅读:219 留言:0更新日期:2013-02-01 02:11
本实用新型专利技术公开了一种炉底冷却结构及使用该炉底冷却结构的晶体生长炉,该晶体生长炉在外炉底的中间位置处,在将外炉底通过导流板固定在内炉底的固定结构的基础上,增加了在内、外炉底之间设置的处于所述进水段内或贴近在导流板侧壁上或穿设在导流板中的连接柱体,连接柱体的两端分别固定在内、外炉底上,从而加强了内、外炉底中心位置处的连接可靠性,在使用时,连接柱体能够起到将外炉底吊挂在内炉底上的目的,使得炉底冷却结构在长时间、大流量和水压高的环境下工作,外炉底的中间部分在连接柱体的吊挂作用下不会向下凸起变形,进而解决了现有技术中晶体生长炉的外炉底容易从导流板上脱开的问题。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体生长炉冷却
,尤其涉及一种炉底冷却结构,同时还涉及使用该炉底冷却结构的晶体生长炉。技术背景 目前市场上,晶体生长炉(如单晶炉)的炉底换热夹层多为内嵌导流板结构,进水方式为左进右出或右进左出,即在晶体生长炉的内外炉底之间的夹层中间隔交错设置若干个导流板,使得从夹层一侧的进水口注入的水流经由导流板导流后从出水口流出,但是由于导流板与夹层周壁的结合处为盲端,在使用时,夹层中的气体会在水流的压迫下聚集在导流板与夹层周壁的结合处,从而造成局部憋气,进而使得晶体生长炉底部各处的温度不一,导致晶体生长炉内热场不均衡,增加工艺难度,严重时使炉内加工物破裂,加工失败。并且夹层中各处的温度不一致会导致内外炉底的使用寿命降低,从而使得整个晶体生长炉的使用寿命降低,降低晶体生长炉长期使用的可靠性。申请号为201120106357. X的中国技术专利公开了一种炉底板冷却结构,该炉底冷却结构中内外炉底之间的导流板为从内外炉底之间的夹层的中心位置处呈螺旋状向外延伸的螺旋状结构,导流板的上侧一体连接在内炉底上,下侧焊接固定在外炉底上,并将进水口设置在外炉底的中心位置处,出水口设置在外炉底的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉底冷却结构,包括内、外炉底以及夹设在内、外炉底之间的螺旋状的导流板,所述导流板具有处于外炉底中心位置处的C状的进水段,其特征在于:所述内、外炉底之间设有处于所述进水段内或贴近在导流板侧壁上或穿设在导流板中的连接柱体,所述连接柱体的两端分别固定在内、外炉底上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张博赵东
申请(专利权)人:登封市蓝天石化光伏电力装备有限公司
类型:实用新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1