【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体生长炉冷却
,尤其涉及一种炉底冷却结构,同时还涉及使用该炉底冷却结构的晶体生长炉。技术背景 目前市场上,晶体生长炉(如单晶炉)的炉底换热夹层多为内嵌导流板结构,进水方式为左进右出或右进左出,即在晶体生长炉的内外炉底之间的夹层中间隔交错设置若干个导流板,使得从夹层一侧的进水口注入的水流经由导流板导流后从出水口流出,但是由于导流板与夹层周壁的结合处为盲端,在使用时,夹层中的气体会在水流的压迫下聚集在导流板与夹层周壁的结合处,从而造成局部憋气,进而使得晶体生长炉底部各处的温度不一,导致晶体生长炉内热场不均衡,增加工艺难度,严重时使炉内加工物破裂,加工失败。并且夹层中各处的温度不一致会导致内外炉底的使用寿命降低,从而使得整个晶体生长炉的使用寿命降低,降低晶体生长炉长期使用的可靠性。申请号为201120106357. X的中国技术专利公开了一种炉底板冷却结构,该炉底冷却结构中内外炉底之间的导流板为从内外炉底之间的夹层的中心位置处呈螺旋状向外延伸的螺旋状结构,导流板的上侧一体连接在内炉底上,下侧焊接固定在外炉底上,并将进水口设置在外炉底的中心位置处, ...
【技术保护点】
一种炉底冷却结构,包括内、外炉底以及夹设在内、外炉底之间的螺旋状的导流板,所述导流板具有处于外炉底中心位置处的C状的进水段,其特征在于:所述内、外炉底之间设有处于所述进水段内或贴近在导流板侧壁上或穿设在导流板中的连接柱体,所述连接柱体的两端分别固定在内、外炉底上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张博,赵东,
申请(专利权)人:登封市蓝天石化光伏电力装备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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