【技术实现步骤摘要】
炉体冷却结构及使用该炉体冷却结构的晶体生长炉
本技术涉及晶体生长炉冷却
,尤其涉及一种炉体冷却结构,同时还涉及使用该炉体冷却结构的晶体生长炉。
技术介绍
目前市场上提供的晶体生长炉的炉体冷却结构为内嵌导流板结构,也就是在晶体生长炉的内外炉壁之间的夹层中在上下方向上间隔平行设置有若干层导流板,相邻两层导流板上开设有连通不同层流道的开口,使得从炉壁底部流入内、外炉壁之间夹层中的冷却用水经由各个流道从炉壁顶部开设的出水口溢出,但是由于在冷却用水从下层导流板上的开口流入流道后,会分流成两股流向相反的水流,并在上层导流板开口设置处汇合后从上层导流板上的开口流出,也就是相邻两层导流板上的开口均具有两条可相互连通的流道, 使得流道不能给冷却用水提供导向,只能通过冷却用水在流道内的堆积才能从上层导流板上的开口流出,因而在冷却用水注满整个内、外炉壁之间的夹层后,流至炉壁中部位置处的冷却用水流的流速会显著减小,而晶体生长炉在炉壁的中心位置处温度较高,因而在炉壁的中部位置处的冷却用水中常常会出现大量气泡,且这些气泡只能缓慢的在水流的推动下从出水口排出,甚至在多个气泡合并后会卡滞在上下相邻两个导流板之间,从而使得冷却用水中出现憋气的情况,使得炉壁中部位置处的散热不均匀,进而导致晶体生长炉的生产效率降低并且严重时会影响晶体质量,使用寿命缩短。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种炉壁中部散热均匀的炉体冷却结构,同时还提供了一种使用该炉体冷却结构的晶体生长炉,旨在解决现有技术中炉壁中部容易憋气引起的局部换热不均及提高晶体质量的问题。为了实现以上目的,本技术所采用的技术方案是本技 ...
【技术保护点】
炉体冷却结构,包括夹设在内外炉壁之间的、在上下方向呈层状间隔平行分布的环形的导流板,所述的导流板将内外炉壁之间的空间自上而下分隔为呈层状分布的流道,在导流板上开设有用于连通相邻层流道的开口,其特征在于,相邻两层导流板之间设置有将其两者之间的流道阻断为C型流道的隔板,相邻两层导流板上的开口分别处于该两层导流板之间的隔板的相对两侧、且靠近隔板的位置处。
【技术特征摘要】
1.炉体冷却结构,包括夹设在内外炉壁之间的、在上下方向呈层状间隔平行分布的环形的导流板,所述的导流板将内外炉壁之间的空间自上而下分隔为呈层状分布的流道,在导流板上开设有用于连通相邻层流道的开ロ,其特征在于,相邻两层导流板之间设置有将其两者之间的流道阻断为C型流道的隔板,相邻两层导流板上的开ロ分别处于该两层导流板之间的隔板的相对两侧、且靠近隔板的位置处。2.根据权利要求I所述的炉体冷却结构,其特征在于,相邻两层流道内的隔板一体连接。3.晶体生长炉,包括内、外炉壁以...
【专利技术属性】
技术研发人员:张博,赵东,
申请(专利权)人:登封市蓝天石化光伏电力装备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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