【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种晶体生长炉用高温隔热装置。
技术介绍
以刚玉(蓝宝石)为例,其主要成分是氧化铝(A1203),其熔点为2050°C,所以对刚玉单晶的生长炉热防护隔热屏的稳定性能、耐高温性能要求极高。目前生产过程中普遍使用的隔热屏为石墨炭毡隔热屏,这种隔热屏在使用过程中碳挥发后会进入晶体内部而造成碳污染,虽然可以通过随后的退火工艺消除晶体中的碳杂质,但是该生产工序复杂因而加工成本较高,而且由于退火工艺无法消除碳杂质留下的原子缺位,使得晶体的品质较低,近年已经逐渐被市场淘汰。中国技术专利公开文件CN202214452U公开了一种蓝宝石单晶炉用的分体嵌套式圆筒形隔热屏,该隔热屏由同轴心、不同直径的至少两个圆筒形的隔热屏构成,每个隔热屏由同轴心的至少两层圆筒构成,每层圆筒均匀高熔点的轧制钥金属板材卷制而成。这种隔热屏在使用过程中容易发生变形而一旦出现隔热屏变形,就必须将 隔热屏全部更换,否则会影响刚玉晶体生长炉内晶体品质,严重时出现晶体粘锅,甚至开裂无法使用,这种隔热屏的平均使用寿命通常只有6个月左右时间,因而属于晶体生长炉的易耗件,为保证刚玉的生产质量就需要在生产过程中 ...
【技术保护点】
一种晶体生长炉用隔热装置,包括用于套设在坩埚外围的筒形隔热屏,其特征在于,在所述筒形隔热屏外围还套设有筒形的金属换热屏,在所述金属换热屏与隔热屏之间留有环隙,在所述环隙中围绕圆周均布有支撑连接于金属换热屏和隔热屏外表面之间的支撑体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张博,赵东,
申请(专利权)人:登封市蓝天石化光伏电力装备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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