下载晶体生长炉用隔热装置的技术资料

文档序号:8283659

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本实用新型公开了一种晶体生长炉用隔热装置,其主要由用于套设在坩埚外围的筒形隔热屏和套设于筒形隔热屏外围的金属换热屏组成,在金属换热屏与隔热屏之间留有环隙,在环隙中围绕圆周均布有支撑于金属换热屏与隔热屏外表面之间的支撑体。本实用新型的晶体生长...
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