下载炉体冷却结构及使用该炉体冷却结构的晶体生长炉的技术资料

文档序号:8471887

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本实用新型涉及一种炉体冷却结构及使用该炉体冷却结构的晶体生长炉,晶体生长炉在相邻两层导流板之间设置有将流道分割为C型流道的隔板,相邻两层导流板上的开口分别处于导流板的相对两侧,且靠近隔板的位置处,从而在使用过程中,导流板围成的流道为连通进、...
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