用于网状电极的混合酸清洁的方法技术

在一种实施方式中，一种用于清洁网状电极的方法可以包括：将网状电极密封在清洁组件中，使得在所述网状电极的第一侧上形成第一清洁空间，并在所述网状电极的第二侧上形成第二清洁空间。可以将酸性溶液加载到所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间中。可以给所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间加压，使得所述酸性溶液中的至少一部分流过所述网状电极的所述多个气体通道中的一个或多个。将一些纯化水推进穿过所述网状电极的所述第二侧上的所述第二清洁空间，并且与所述网状电极的所述第二侧接触。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及混合酸清洁组件，更具体地涉及用于清洁网状(showerhead)电极的混合酸清洁组件。
技术介绍
本公开总体上涉及用于清洁在等离子处理系统中用作激励电极的网状电极的气体通道的混合酸组件。虽然本公开的范围不限于特定类型的网状电极或待清洁的网状电极已使用的背景条件，但基于说明的目的，本专利技术中的混合酸组件参照单硅系电极进行了说明，该单硅系电极具有圆盘形状，带有同心布置的气体通道。实践本专利技术所描述的实施方式就会发现:这里所提出的混合酸组件中的一些将可以有利地用于各种类型的电极和非电极的情形中。图1示出了耦合到具有圆盘形状的网状电极的混合酸组件。图3示出了网状电极的分解图。关于类似于图1和3中的网状电极和电极组件的结构的进一步教导可以在USPub.N0.2007/0068629,N0.2007/0235660 和 N0.2007/0284246 等文件中找到。其中的有关部分通过引用并入本文。其他的相关教导可以在美国专利N0.6，073, 577，N0.6，148，765，N0.6，194，322，N0.6，245，192，N0.6，376，385 和 US Pub本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于清洁网状电极的方法，其包括：将网状电极密封在清洁组件中，使得在所述网状电极的第一侧上形成第一清洁空间，并在所述网状电极的第二侧上形成第二清洁空间，其中所述网状电极包括从所述网状电极的所述第一侧延伸穿过所述网状电极到达所述网状电极的所述第二侧的多个气体通道；将酸性溶液加载到所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间中；给所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间加压，使得所述酸性溶液中的至少一部分流过所述网状电极的所述多个气体通道中的一个或多个；以及将一些纯化水推进穿过所述网状电极的所述第二侧上的所述第二清洁空间，并且与所述网状电极的所述第二侧接触。

【技术特征摘要】
2011.10.31 US 61/553,404;2011.10.31 US 61/553,4161.一种用于清洁网状电极的方法，其包括: 将网状电极密封在清洁组件中，使得在所述网状电极的第一侧上形成第一清洁空间，并在所述网状电极的第二侧上形成第二清洁空间，其中所述网状电极包括从所述网状电极的所述第一侧延伸穿过所述网状电极到达所述网状电极的所述第二侧的多个气体通道； 将酸性溶液加载到所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间中； 给所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间加压，使得所述酸性溶液中的至少一部分流过所述网状电极的所述多个气体通道中的一个或多个；以及 将一些纯化水推进穿过所述网状电极的所述第二侧上的所述第二清洁空间，并且与所述网状电极的所述第二侧接触。2.根据权利要求1所述的方法，还包括:在加载所述酸性溶液时，给所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间通风。3.根据权利要求1所述的方法，还包括:在推进所述一些纯化水与所述网状电极的所述第二侧接触之前，推进一定数量的纯化水穿过所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间，并且与所述网状电极的所述第一侧接触。4.根据权利要求3所述的方法，还包括:在所述一些纯化水与所述网状电极的所述第二侧接触后，推进第二数量的纯化水穿过所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间，并且与所述网状电极的所述第一侧接触。5.根据权利要求4所述的方法，包括:所述第二数量的纯化水与所述网状电极的所述第一侧接触后，将一些空气注入所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间，其中，推动所述一些空气中的至少一部分穿过所述网状电极的所述多个气体通道中的一个或多个。6.根据权利要求3所述的方法，其中所述一定数量的纯化水由液体分散件推进，所述液体分散件包含其中形成有中央流道的圆柱体以及在所述圆柱体中形成的多个液体出口，其中所述多个液体出口中的每一个是基本呈线性的管道，所述管道从所述中央流道径向朝外延伸。7.根据权利要求1所述的方法，还包括:在将所述酸性溶液加载到所述第一清洁空间之前，推进一定数量的纯化水穿过所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间，并且与所述网状电极的所述第一侧接触。8.根据权利要求7所述的方法，在所述一定数量的纯化水与所述网状电极的所述第一侧接触后，并且在所述酸性溶液加载到所述第一清洁空间之前，将一些空气注入所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间。9.根据权利要求1所述的方法，其中通过一个或多个O形环将所述清洁组件密封到所述网状电极上。10.根据权利要求9所述的方法，其中所述清洁组件包括具有凸缘件的高压封闭件和耦合到夹紧叉的水平致动器，所述夹紧叉被设置成接收所述高压封闭件的所述凸缘件，并且其中所述水平致动器将所述夹紧叉横向移动到与所述凸...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿尔曼·阿沃杨，克利夫·拉克鲁瓦，石洪，约翰·多尔蒂，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：