本发明专利技术提供一种基板检查夹具及其相关技术，其能够减轻随着变更作为检查对象的被检查基板的构成带来的变更基板检查夹具的构成的负担。该基板检查夹具（2）具备夹具主体（6）、电极单元（7）和检查头（8）。电极单元（7）具有大致矩阵状地配置的多个电极头部，并可更换地安装在夹具主体（6）上。检查头（8）具有多个探头和探头保持部件，并可更换地安装在电极单元（7）或夹具主体（6）上，以使该各个探头的后端部与电极单元（7）的任一个电极头部电接触。电极单元（7）的电极头部以比检查头（8）的探头的配设间距小的配设间距大致矩阵状地被配置，以使其能够对应于探头的配置方式不同的多种检查头（8）。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及安装在基板检查装置上、并用于与设置在被检查基板上的布线图案的电气特性有关的检查中的基板检查夹具及其相关技术。
技术介绍
作为现有的基板检查夹具，有下述基板检查夹具，即:将设置在电极单元上的电极部的构成设为与探头的配置方式不同的多种检查头对应的通用的构成，能够与作为检查对象的被检查基板的布线图案等构成对应地更换检查头。此外，在使用了上述现有的基板检查夹具的基板检查装置中，对基板检查夹具的电极单元的电极部和检查处理部之间的电连接关系进行切换的连接切换单元被配置在基板检查装置主体中的基板检查夹具的电极单元的下侧(或上侧)。另外，作为与具有通用的电极部的构成的基板检查夹具相关的在先技术文献，可举出例如专利文献I。专利文献专利文献1:日本特许第2598482号公报然而，由于在上述现有的基板检查夹具中，未设想到电极单元的更换，所以在要设置探头的配设间距等不同的检查头的情况下，需要更换整个基板检查夹具。因此，随着变更作为检查对象的被检查基板的构成(例如，布线图案的配设间距等)带来的变更基板检查夹具的构成的负担大。此外，如上所述，在将连接切换单元配置在基板检查装置主体中的基板检查夹具的电极单元的下侧(或上侧)的构成中，基板检查装置中的基板检查夹具的、配置有电极单元的部分及其周边的构成变得复杂化，存在难以进行基板检查夹具的更换等问题。此外，在基板检查装置主体中的基板检查夹具的、配置有电极单元的部分的下侧(或上侧)配置有进行基板检查夹具的位置调节的位置调节机构的情况较多。因此，在如上述的构成中，存在连接切换单元成为障碍而难以确保位置调节机构的设置空间的情况。专利
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的第I问题是提供一种基板检查夹具及其相关技术，其能够减轻随着变更作为检查对象的被检查基板的构成带来的变更基板检查夹具的构成的负担。因此，本专利技术要解决的第2问题是提供一种基板检查装置，其能够容易地进行基板检查夹具和电极单元的更换，并容易地确保基板检查夹具的位置调节机构的设置空间。为了解决上述问题，第I技术方案是一种基板检查夹具，该基板检查夹具安装于基板检查装置，并用于与设置在被检查基板上的布线图案的电气特性相关的检查中，其特征在于，包括:夹具主体；电极单元，其具有大致矩阵状地配置的多个电极部，并可更换地安装于所述夹具主体；以及检查头，其具有多个探头和保持所述多个探头的探头保持部件，并可更换地安装于所述电极单元或所述夹具主体，使得所述各个探头的后端部与所述电极単元的任ー个所述电极部电连接，其中，所述检查头的所述探头被配置成其前端部与作为检查对象的所述被检查基板的所述布线图案上所设定的检查点对应，所述电极単元的所述电极部以比所述检查头的所述探头的配设间距小的配设间距大致矩阵状地被配置，以使其能够对应于所述探头的配置方式不同的多种所述检查头。此外，第2技术方案是在第I技术方案涉及的基板检查夹具中，所述电极单元包括:绝缘性的电极基座部件，其具有形成干与所述探头単元的对置面的多个电极孔；电极头部，其具有导电性的大致棒状的形态，并配置在所述电极基座部件的所述电极孔内而构成所述电极部；导电螺旋弹簧部件，其具有导电性并具有大致螺旋弹簧状的形态，并被插入到所述电极孔内，其伸縮方向的一侧端部与所述电极头部的后端侧抵接；以及中继连接部件，其具有导电性，且其前端部被插入到所述电极孔内而与所述导电螺旋弹簧部件的所述伸縮方向的另ー侧端部抵接。此外，第3技术方案是在第2技术方案涉及的基板检查夹具中，在所述电极基座部件的所述电极孔内设置有抵接部，所述抵接部与所述电极头部的一部分抵接而阻挡所述电极头部向所述检查头侧的位移，所述导电螺旋弹簧部件在所述电极孔内沿伸縮方向被压缩的状态下插装在所述电极头部和所述中继连接部件之间。此外，第4技术方案是在第3技术方案涉及的基板检查夹具中，所述电极单元的所述电极头部的朝向所述探头的后端部侧的前端部，在所述检查头的所述探头没有抵接的状态下，配置在实质上与所述电极基座部件的与所述检查头的对置面对齐的位置上。此外，第5技术方案是在第3技术方案涉及的基板检查夹具中，所述电极单元的所述电极头部的朝向所述探头的后端部侧的前端部，在所述检查头的所述探头没有抵接的状态下，配置于相对于所述电极基座部件与所述检查头的对置面而向着与所述检查头背离的方向后退为凹状的位置。此外，第6技术方案是在第I技术方案涉及的基板检查夹具中，在所述电极单元上设置有所述电极部的所述配设间距不同的多个电极形成区域。此外，第7技术方案是在第I技术方案涉及的基板检查夹具中，所述电极单元的所述电极部的朝向所述探头的所述后端部侧的前端部具有其中央部大致凹状地凹陷的凹陷形状。此外，第8技术方案是在第I技术方案涉及的基板检查夹具中，所述电极单元的所述电极部的朝向所述探头的所述后端部侧的前端部的周缘部形成有向所述探头的所述后端部侧突出的多个突起。此外，第9技术方案是在第I技术方案涉及的基板检查夹具中，所述检查头的所述探头的所述前端部从所述探头保持部件的朝向所述被检查基板侧的前端侧的端面突出，所述检查头的所述探头的所述后端部从所述探头保持部件的朝向所述电极单元侧的后端侧的端面突出。 此外，第10技术方案是ー种具备第I技术方案涉及的基板检查夹具和安装有所述基板检查夹具的检查装置主体的检查装置，所述检查装置主体包括:检查处理部，其经由所述基板检查夹具来检查所述被检查基板的所述布线图案的电气特性；以及连接切换单元，其配置于所述基板检查装置主体上的、从与所述基板检查装置主体上安装的所述基板检查夹具的所述电极単元在上下方向上相对置的区域离开的位置上，并切换所述基板检查夹具的所述电极部和所述检查处理部之间的电连接关系。此外，第11技术方案是一种夹具底座单元，该夹具底座单元与具备多个探头的检查头一起安装于基板检查装置，并用于与设置在被检查基板上的布线图案的电气特性相关的检查中，其特征在于，包括:夹具主体；以及电极单元，其具有大致矩阵状地被配置的多个电极部，并可更换地安装于所述夹具主体，其中，随着所述检查头可更换地安装于所述电极单元或所述夹具主体，所述检查头的所述探头的后端部与所述电极单元的任一个所述电极部电接触，所述电极单元的所述电极部以比所述检查头的所述探头的配设间距小的配设间距大致矩阵状地被配置，以使其能够对应于所述探头的配置方式不同的多种所述检查头。根据上述第I至第9技术方案涉及的基板检查夹具，由于电极单元能够更换，所以即使在要设置探头的配设间距等不同的检查头的情况下，也无需更换整个基板检查夹具，通过更换电极单元即可应对。因此，能够减轻随着作为检查对象的被检查基板的构成(例如，布线图案的配设间距等)变更带来的基板检查夹具的构成变更的负担。根据上述第2技术方案涉及的基板检查夹具，在安装检查头且探头的后端部与电极头部电接触时，利用导电螺旋弹簧部件的作用力，电极头部被弹性推压至探头的后端部而与其接触，因此能够使探头和电极头部的电接触状态稳定。根据上述第3技术方案涉及的基板检查夹具，在未安装检查头且电极头部等待与探头抵接的状态下，利用在被压缩的状态下插入的导电螺旋弹簧部件的作用力，电极头部被弹性地按压在电极孔内的上限位置。因此，能够正确地定位等待状态下的电极头部的前端部的位置，由此，在安本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板检查夹具，安装于基板检查装置，并用于与设置在被检查基板上的布线图案的电气特性相关的检查中，其特征在于，包括：夹具主体；电极单元，其具有矩阵状地配置的多个电极部，并可更换地安装于所述夹具主体；以及检查头，其具有多个探头和保持所述多个探头的探头保持部件，并可更换地安装于所述电极单元或所述夹具主体，以使所述各个探头的后端部与所述电极单元的任一个所述电极部电连接，其中，所述检查头的所述探头被配置成，其前端部与作为检查对象的所述被检查基板的所述布线图案上所设定的检查点相对应，所述电极单元的所述电极部以比所述检查头的所述探头的配设间距小的配设间距矩阵状地配置，以使其能够对应于所述探头的配置方式不同的多种所述检查头。
【技术特征摘要】
2011.11.07 JP 2011-2435271.一种基板检查夹具，安装于基板检查装置，并用于与设置在被检查基板上的布线图案的电气特性相关的检查中，其特征在于，包括: 夹具主体； 电极单元，其具有 矩阵状地配置的多个电极部，并可更换地安装于所述夹具主体；以及检查头，其具有多个探头和保持所述多个探头的探头保持部件，并可更换地安装于所述电极単元或所述夹具主体，以使所述各个探头的后端部与所述电极単元的任ー个所述电极部电连接，其中， 所述检查头的所述探头被配置成，其前端部与作为检查对象的所述被检查基板的所述布线图案上所设定的检查点相对应， 所述电极単元的所述电极部以比所述检查头的所述探头的配设间距小的配设间距矩阵状地配置，以使其能够对应于所述探头的配置方式不同的多种所述检查头。2.根据权利要求1所述的基板检查夹具，其特征在于，所述电极単元包括: 绝缘性的电极基座部件，其具有形成干与所述探头単元的对置面的多个电极孔； 电极头部，其具有导电性的棒状的形态，并配置在所述电极基座部件的所述电极孔内而构成所述电极部； 导电螺旋弹簧部件，其具有导电性并具有螺旋弹簧状的形态，并被插入到所述电极孔内，其伸縮方向的一侧端部与所述电极头部的后端侧抵接；以及 中继连接部件，其具有导电性，且其前端部被插入到所述电极孔内而与所述导电螺旋弹簧部件的所述伸缩方向的另ー侧端部抵接。3.根据权利要求2所述的基板检查夹具，其特征在干， 在所述电极基座部件的所述电极孔内设置有抵接部，所述抵接部与所述电极头部的一部分抵接而阻挡所述电极头部向所述检查头侧的位移， 所述导电螺旋弹簧部件在所述电极孔内沿伸縮方向被压缩的状态下，插装在所述电极头部和所述中继连接部件之间。4.根据权利要求3所述的基板检查夹具，其特征在干， 所述电极単元的所述电极头部的朝向所述探头的后端部侧的前端部，在所述检查头的所述探头没有抵接的状态下，配置干与所述电极基座部件的与所述检查头的对置面对齐的位置。5.根据权利要求3所述的基板检查夹具，其特征在干， 所述电极単元的...
【专利技术属性】
技术研发人员：藤野真，
申请(专利权)人：日本电产理德株式会社，
类型：发明
国别省市：
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