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本发明提供一种基板检查夹具及其相关技术，其能够减轻随着变更作为检查对象的被检查基板的构成带来的变更基板检查夹具的构成的负担。该基板检查夹具（2）具备夹具主体（6）、电极单元（7）和检查头（8）。电极单元（7）具有大致矩阵状地配置的多个电极头...
该专利属于日本电产理德株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产理德株式会社授权不得商用。

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