四烷基铵盐的制造方法及以其为原料的氢氧化四烷基铵的制造方法技术

当使用阳离子交换树脂以从显像废液等回收四烷基铵(TAA)离子之际，由于所得到的TAA盐中混入有金属离子，因而即便以此作为原料欲取得TAA氢氧化物时，只能获得金属不纯物含量较多的化合物。本发明专利技术的解决手段是使光阻显像废液等包含金属离子和TAA离子的溶液与阳离子交换树脂接触，而使TAA离子吸附，接着，当将酸通入该阳离子交换树脂内以回收TAA盐之际，于所得到的TAA盐溶液的pH达到规定值以下之前及/或电导率产生了规定幅度以上的变化之前停止回收，藉而可得到金属离子浓度较低的TAA盐溶液。而且，本发明专利技术是使像这样所得到的TAA盐与事先转成OH型的阴离子交换树脂接触，亦或是进行电解，藉而能够得到高纯度的TAAH溶液。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是涉及一种使用阳离子交换树脂的四烷基铵盐的新的制造方法及以其为原料的氢氧化四烷基铵的制造方法。
技术介绍
一般而言，氢氧化四烷基铵(以下，简称为TAAH)是作为以相转移催化剂为例的非水溶液滴定中的盐基的标准液、或是有机合成中的有机系碱剂的有用的化合物。此外，亦可作为在集成电路或大规模集成电路的制造中，半导体基板的洗涤、蚀刻、光阻的显像等的处理剂来使用。尤其是于半导体方面的用途中，由于半导体基板会被污染，因而需要尽可能未含有不纯物的高纯度的TAAH。另一方面，如上所述使用于光阻的显像的废液中，除光阻之外还包含了金属离子及TAAH，因此为了降低环境负担，从该废液回收TAAH并再利用TAAH的技术越显重要(以下，亦有将包含光阻及TAAH的废液称作「光阻显像废液」的情况)。迄今，处理光阻显像废液的方法中，以透过蒸发法或逆渗透膜法浓缩后予以废弃(焚化或交由业者收取)的方法、利用活性污泥进行生物分解处理再行放流的方法为主流。然而，如上所述，从关怀环境的角度，关于从该废液回收TAAH并加以再利用的尝试已提出有多数方案。具体来说，针对已浓缩的废液或本来TAAH浓度就高的显像废液，经中和处本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.12.28 JP 2010-2932161.一种四烷基铵盐溶液的制造方法，该制造方法是利用含有金属离子及氢氧化四烷基铵的溶液以得到含有四烷基铵盐的溶液，其特征在于，包含: (1)使含有金属离子及氢氧化四烷基铵的溶液通入填充有氢离子型的阳离子交换树脂的吸附塔内，令该溶液中的四烷基铵离子吸附在阳离子交换树脂上的吸附工艺；以及 (2)于所述吸附工艺中，使酸溶液通入填充有吸附着四烷基铵离子的阳离子交换树脂的吸附塔内，令吸附于该树脂的四烷基铵离子溶离成所述酸盐，并将从该吸附塔流出的流出液回收至储留槽的回收工艺； 并且，于所述回收工艺中，测量来自吸附塔的流出液的PH及/或电导率，当该流出液的pH达到预定的pH之时点及/或电导率仅变化了预定的电导率的变化量之时点时，停止朝往所述储留槽的流出液的回收。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：村田昭子，梅津直幸，东野诚司，平浩昭，
申请(专利权)人：德山株式会社，
类型：
国别省市：