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四烷基铵盐的制造方法及以其为原料的氢氧化四烷基铵的制造方法技术
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下载四烷基铵盐的制造方法及以其为原料的氢氧化四烷基铵的制造方法的技术资料
文档序号:8658839
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当使用阳离子交换树脂以从显像废液等回收四烷基铵(TAA)离子之际,由于所得到的TAA盐中混入有金属离子,因而即便以此作为原料欲取得TAA氢氧化物时,只能获得金属不纯物含量较多的化合物。本发明的解决手段是使光阻显像废液等包含金属离子和TAA离...
该专利属于德山株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过德山株式会社授权不得商用。
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