旋转体的旋转范围限制机构及工业用机器人制造技术

一种旋转体的旋转范围限制机构，能抑制尘埃产生及噪声产生。对能相对支承体（5）旋转360°以上的旋转体的旋转范围进行限制的旋转范围限制机构（31）包括：能摆动地安装于支承体的摆动构件（45）；与摆动构件（45）抵接以限制摆动构件（45）朝一侧的摆动范围的第一限制构件（46）；与摆动构件（45）抵接以限制摆动构件（45）朝另一侧的摆动范围的第二限制构件（47）；卡合构件（48），其固定于旋转体且与摆动构件（45）卡合以使摆动构件（45）在第一限制位置与第二限制位置间摆动，在第一限制位置上摆动构件（45）与第一限制构件（46）抵接，在第二限制位置上摆动构件（45）与第二限制构件（47）抵接；利用磁吸引力将摆动构件（45）保持于第一限制位置的第一磁力保持机构（51）；以及利用磁吸引力将摆动构件（45）保持于第二限制位置的第二磁力保持机构（52）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对能相对于支承体旋转360°以上的旋转体的旋转范围进行限制的旋转体的旋转范围限制机构。此外，本专利技术涉及包括上述旋转体的旋转范围限制机构的工业用机器人。
技术介绍
以往，作为对半导体晶片等工件进行搬运的工业用机器人，已知有如下工业用机器人，该工业用机器人包括基部，该基部固定在地板上；主体，该主体能旋转地安装在基部上；第一臂，该第一臂的基端部固定在主体上；第二臂，该第二臂的基端部能旋转地安装在第一臂的前端部；以及手部，该手部的基端部能旋转地安装在第二臂的前端部(例如参照专利文献I)。在专利文献I记载的工业用机器人中，基部包括可升降的升降台，主体包括供第一臂的基端部固定的主体框。在上述工业用机器人中，主体框能相对于升降台旋转360°以上，在升降台与主体框之间设置有对主体框的旋转范围进行限制的限位部。限位部包括L字形的限位构件，该限位构件能转动地安装在升降台上；限位销，该限位销固定在主体框上；两个限位件，这两个限位件对限位构件的转动范围进行限制；以及限位辊，该限位辊用于保持限位构件与限位件抵接的状态。在对限位构件进行支承的转动轴上形成有与限位辊卡合的两个轴线方向槽，限位辊被弹簧朝向转动轴施力。在限位部中，若限位辊与一方的轴线方向槽卡合，则可保持限位构件与一方的限位件抵接的状态，若限位辊与另一方的轴线方向槽卡合，则可保持限位构件与另一方的限位件抵接的状态。在专利文献I记载的工业用机器人中，当主体框旋转而使限位销从L字形的限位构件的内侧与限位构件抵接时，限位销推倒限位构件而使主体框旋转。另一方面，当主体框旋转而使限位销从L字形的限位构件的外侧与限位构件抵接时，限位销与抵接在限位件上的限位构件抵接,而使主体框停止。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开2003 - 170384号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在专利文献I记载的工业用机器人中，用于保持限位构件与限位件抵接的状态的限位辊被朝向对限位构件进行支承的转动轴施力，限位辊始终与转动轴接触。因此，在该工业用机器人中，伴随着转动轴的转动，可能在限位辊与转动轴的接触部分处产生尘埃。此夕卜，在该工业用机器人中，伴随着转动轴的转动，可能在限位辊与转动轴的接触部分处产生噪声。因此，本专利技术的技术问题在于提供一种旋转体的旋转范围限制机构，其对能相对于支承体旋转360°以上的旋转体的旋转范围进行限制，并能抑制尘埃的产生或噪声的产生。此外，本专利技术的技术问题在于提供一种包括上述旋转体的旋转范围限制机构的工业用机器人。 解决技术问题所采用的技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术的旋转体的旋转范围限制机构对能相对于支承体旋转360°以上的旋转体的旋转范围进行限制，其特征是，包括摆动构件，该摆动构件能摆动地安装在支承体上；第一限制构件，该第一限制构件固定或形成于支承体，且与摆动构件抵接来对摆动构件朝一方侧的摆动范围进行限制；第二限制构件，该第二限制构件固定或形成于支承体，且与摆动构件抵接来对摆动构件朝另一方侧的摆动范围进行限制；卡合构件，该卡合构件固定或形成于旋转体，且与摆动构件卡合来使摆动构件在第一限制位置与第二限制位置之间摆动，其中，在上述第一限制位置上，摆动构件与第一限制构件抵接，在上述第二限制位置上，摆动构件与第二限制构件抵接；第一磁力保持机构，该第一磁力保持机构利用磁吸引力或磁斥力将摆动构件保持在第一限制位置上；以及第二磁力保持机构，该第二磁力保持机构利用磁吸引力或磁斥力将摆动构件保持在第二限制位置上。在本专利技术的旋转体的旋转范围限制机构中，利用第一磁力保持机构的磁吸引力或磁斥力，来将摆动构件保持在摆动构件与第一限制构件抵接的第一限制位置上，利用第二磁力保持机构的磁吸引力或磁斥力，来将摆动构件保持在摆动构件与第二限制构件抵接的第二限制位置上。因此，即便为了使旋转体相对于支承体适当地旋转360°以上，而需要将摆动构件保持在第一限制位置或第二限制位置上，也不需要使用于将摆动构件保持在第一限制位置或第二限制位置处的构件与摆动构件接触。因此，在本专利技术中，能抑制伴随着在第一限制位置与第二限制位置间摆动的摆动构件的摆动而导致尘埃的产生及噪声的产生。在本专利技术中，例如，第一磁力保持机构及第二磁力保持机构包括固定在摆动构件和支承体中的一方上的永磁体；以及固定在摆动构件和支承体中的另一方上的磁性构件或永磁体。在本专利技术中，较为理想的是，从旋转体的转轴的轴向观察时，摆动构件的摆动中心配置在与旋转体一起旋转的卡合构件的轨迹即假想圆的外侧。若这样构成，则与从旋转体的转轴的轴向观察时摆动构件的摆动中心配置在假想圆的内侧的情况相比，即便缩短了从旋转体的旋转中心到卡合构件的距离，也能利用卡合构件使摆动构件适当地摆动。因此，能减小卡合构件的旋转半径，其结果是，能使旋转范围限制机构小型化。在本专利技术中，在摆动构件上形成有卡合槽，当摆动构件在第一限制位置与第二限制位置之间摆动时，上述卡合槽与卡合构件卡合，卡合构件形成为大致圆柱状，在卡合槽的侧面形成有大致半圆弧状的凹曲面，该凹曲面的内径与卡合构件的外径大致相等。若在摆动构件位于第一限制位置与第二限制位置间时旋转体停止，则第一磁力保持机构对摆动构件的保持力及第二磁力保持机构对摆动构件的保持力不发挥作用，因此，尽管旋转体停止，摆动构件也可能会晃动，但若这样构成，则在摆动构件位于第一限制位置与第二限制位置之间时，能使卡合构件的外周面与大致半圆弧状的凹曲面的较宽范围接触，因此，即便在摆动构件位于第一限制位置与第二限制位置间时旋转体停止，也可以使用卡合构件来防止摆动构件的晃动。本专利技术的旋转体的旋转范围限制机构能用于包括主体部、基端侧能转动地安装在主体部上的第一臂、基端侧能转动地安装在第一臂的前端侧的第二臂、基端侧能旋转地安装在第二臂的前端侧的第三臂以及基端侧能旋转地安装在第三臂的前端侧的手部的工业用机器人，其中，例如，旋转体是第三臂，支承体是第二臂。在上述工业用机器人中，能抑制伴随着摆动构件的摆动而导致尘埃的产生及噪声的产生。专利技术效果如上所述，在本专利技术的旋转体的旋转范围限制机构及工业用机器人中，能抑制伴随着摆动构件的摆动而导致尘埃的产生及噪声的产生。附图说明图1是本专利技术实施方式的工业用机器人的示意侧视图。图2是使用图1所示的工业用机器人的半导体制造系统的示意俯视图。图3是用于对图1所示的第三臂驱动机构的结构进行说明的纵剖视图。图4是用于从图3的E — E方向对第三臂驱动机构的结构进行说明的图。图5是用于对图3所示的旋转范围限制机构的动作进行说明的图。图6是用于对使用图3所示的非接触式传感器检测到磁性构件时的第三臂的状态进行说明的图。具体实施例方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。(工业用机器人的示意结构)图1是本专利技术实施方式的工业用机器人I的示意侧视图。图2是使用图1所示的工业用机器人I的半导体制造系统16的示意俯视图。本实施方式的工业用机器人I是用于对半导体晶片2 (参照图2)进行搬运的多关节型机器人。如图1所示，该工业用机器人I包括主体部3 ;第一臂4，该第一臂4能转动地安装在主体部3上；第二臂5，该第二臂5能转动地安装在第一臂4上；第三臂6，该第三臂6能旋转地安装在第二臂5上；以及手部7、8，该手部7、8能旋转地安装在第三臂6上。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.04.27 JP 2011-0989371.一种旋转体的旋转范围限制机构，对能相对于支承体旋转360°以上的旋转体的旋转范围进行限制，其特征在于，包括: 摆动构件，该摆动构件能摆动地安装在所述支承体上； 第一限制构件，该第一限制构件固定或形成于所述支承体，且与所述摆动构件抵接来对所述摆动构件朝一侧的摆动范围进行限制； 第二限制构件，该第二限制构件固定或形成于所述支承体，且与所述摆动构件抵接来对所述摆动构件朝另一侧的摆动范围进行限制； 卡合构件，该卡合构件固定或形成于所述旋转体，且与所述摆动构件卡合，以使所述摆动构件在第一限制位置与第二限制位置之间摆动，其中，在所述第一限制位置上，所述摆动构件与所述第一限制构件抵接，在所述第二限制位置上，所述摆动构件与所述第二限制构件抵接； 第一磁力保持机构，该第一磁力保持机构利用磁吸引力或磁斥力将所述摆动构件保持在所述第一限制位置上；以及 第二磁力保持机构，该第二磁力保持机构利用磁吸引力或磁斥力将所述摆动构件保持在所述第二限制位置上。2.如权利要求1所述的旋转体的旋转范围限制机构，其特征在于，所述第一磁力保持机构及...

【专利技术属性】
技术研发人员：北原康行，改野重幸，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：
国别省市：