【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子元器件
，特别涉及一种用于BST热释电红外探测器的介电击穿调控方法。
技术介绍
钛酸锶钡((Ba，Sr)TiO3，简称BST)热释电薄膜是铁电材料中的一种，具有独特的光学和电学特性，如压电效应、热释电效应，光电效应，非线性光学效应以及铁电性，在微电子学、集成光学和光电子学等高
中具有广泛的应用前景。BST热释电薄膜因其具有优异的电、光等特性，已被应用于非制冷红外探测器件中。BST热释电薄膜工作在直流偏置电场下，不可避免的要产生漏电流，它是BST热释电红外探测器的主要噪声之一，尤其是BST热释电薄膜的漏电流随加偏置电压时间的增加而增加的介电击穿(Time DependentDielectric Breakdown,简称TDDB)现象,会严重影响探测器的可靠性。TDDB现象如图1所示，随着对BST热释电薄膜加偏置电压时间的增加，漏电流有不同的变化规律。在图中有两个漏电流的突变点，分别记为h和h。在h之前，漏电流随时间的增加而减小，在h时达到最小值；然后,漏电流随时间的增加而增大,到&时漏电流突然急剧增加。在h附近，通过其他手段，...
【技术保护点】
一种用于BST热释电红外探测器的介电击穿调控方法，其特征在于，包括下述步骤：在BST热释电薄膜的顶端设置有上电极，作为所述探测器的公共电极和红外吸收层；在BST热释电薄膜的低端设置有两个输入电极，作为所述探测器的衬底；将一个输入电极接地，并对另一个输入电极施加方波偏压。
【技术特征摘要】
1.一种用于BST热释电红外探测器的介电击穿调控方法，其特征在于，包括下述步骤:在BST热释电薄膜的顶端设置有上电极，作为所述探测器的公共电极和红外吸收层；在BST热释电薄膜的低端设置有两个输入电极，作为所述探测器的衬底；将一个输入电极接地，并对另一个输入电极施加方波偏压。2.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓川，张欣翼，许丽娜，
申请(专利权)人：四川汇源科技发展股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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