一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层，由VC层和Co层交替沉积而成，相邻的一层VC层和一层Co层构成一个双层周期层，每个双层周期层的厚度为1～88nm，每个双层周期层中VC层与Co层的厚度比为1.0～3.0：1，总厚度为1~5μm。本发明专利技术还公开了一种纳米多层结构VC/Co增韧涂层的制备方法，其方法为：将VC靶和Co靶分别安装在中频阴极上，靶面垂直于旋转工作台，采用磁控溅射方法对基体进行沉积。本发明专利技术纳米多层结构的VC/Co增韧涂层在保持涂层具有较高的硬度的同时提高了涂层的韧性，可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硬质涂层及其制备方法，尤其涉及，属于陶瓷涂层领域。
技术介绍
硬质防护涂层主要是由金属键构成的过渡金属氮化物、碳化物、硼化物及由离子键构成的金属氧化物等形成的，这些涂层的硬度很高，但它们的韧性却很低，提高这些涂层的韧性和提高它们的硬度一样重要，特别是在摩擦磨损领域的应用中。过渡金属T1、V、W、Ta、Zr、Mo、Cr等都可与碳原子反应,生成金属碳化物涂层,金属碳化物涂层具有化学稳定性好、熔点高、硬度大的特点，但是，碳化物涂层韧性不好，较脆。许多研究通过复合一种与C结合力较差的金属，可以改变金属碳化物涂层的结构，从而改变涂层的性能。现在，研究较多的是仿效块体的碳化物陶瓷通过添加第八族元素(Fe，Co，Ni等)来提高韧性，但结果不太理想。如jansson等(“Surface&Coatings Technology”,第206 卷，第 583 590,2011 年)公布了一种 T1-C-Me 涂层，其中 Me 为 Al，Fe, Ni, Cu, Pt 中的一种或几种，但是，此涂层的硬度只有7 18GPa。20世纪70年代初，Koehler提出了弹性模量相当大的两本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层，其特征在于，由VC层和Co层交替沉积而成，相邻的一层VC层和一层Co层构成一个双层周期层，每个双层周期层的厚度为1～88nm，每个双层周期层中VC层与Co层的厚度比为1.0～3.0：1，纳米多层结构的VC/Co增韧涂层的总厚度为1~5μm。

【技术特征摘要】
1.一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层，其特征在于，由VC层和Co层交替沉积而成， 相邻的一层VC层和一层Co层构成一个双层周期层，每个双层周期层的厚度为I 88nm，每个双层周期层中VC层与Co层的厚度比为1. O 3. O :1，纳米多层结构的VC/Co增韧涂层的总厚度为I飞μπι。2.根据权利要求1所述的纳米多层结构的VC/Co增韧涂层，其特征在于，每个双层周期层的厚度为3 60nm。3.根据权利要求1或2所述的纳米多层结构的VC/Co增韧涂层，其特征在于，每个双层周期层的厚度均相等。4.根据权利要求1所述的纳米多层结构的VC/Co增韧涂层，其特征在于，每个双层周期层的厚度为6 24. 9nm，每个双层周期层中VC层与Co层的厚度比为2. O 3. O :1，且每个双层周期层的厚度均相等。5.根据权利要求Γ4任一项所述的纳米多层结构的VC/Co增韧涂层的制备方法，其特征在于，包括将VC靶和...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄峰，张晓娟，李艳玲，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：