等离子刻蚀机反应室制造技术

本实用新型专利技术涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种晶体硅太阳能电池等离子刻蚀工艺中等离子刻蚀机反应室，反应室本体底部设有旋转平台，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体一侧设有源部件接口；所述单相低速电机的输出轴与旋转平台的旋转轴连接并在单相低速电机输出轴与旋转平台旋转轴的连接处通过磁流体密封；所述源部件接口处安装进气法兰，并在进气法兰外周安装永磁体，且进气法兰外端面安装用于密封源部件接口的密封件。本实用新型专利技术采用永磁体提高了等离子体的密度，加快了刻蚀速率；能够实现一次装片800片，提高生产效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种晶体硅太阳能电池等离子刻蚀工艺中等离子刻蚀机反应室。
技术介绍
在晶体硅太阳能电池生产过程中的扩散工序中，硅片的边缘部分形成了 PN结，等离子刻蚀的作用是将硅片边缘部分的PN结去除。否则将导致电池正负极之间并联电阻过小，且漏电电流过大，影响电池的输出特性。现有的晶体硅太阳能电池生产过程中的等离子刻蚀机反应室采用圆筒形的石英玻璃结构，由于结构的限制，这种等离子刻蚀机反应室刻蚀的晶体硅太阳能电池片只有300片/批。而氟基气体等离子体很容易腐蚀石英及玻璃类零件，长期的氟基等离子体在石英玻璃反应室中，会因为腐蚀的结果会造成材料的结构劣化，并且可能影响到密封面而导致真空漏气或因石英腐蚀变薄而不能承受真空及大气压力之间的压力差而造成爆裂。
技术实现思路
本技术的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种等离子刻蚀反应室，防止工艺过程中产生的氟基等离子体与石英玻璃反应室发生反应，并且可以提高一次装载产品的数量，提高生产效率。本技术的技术方案为，一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室本体，反应室本体底部设有旋转平台，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体一侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室本体（1），反应室本体（1）底部设有旋转平台（4），其特征是，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体（1）一侧设有源部件接口；所述单相低速电机（10）的输出轴与旋转平台（4）的旋转轴连接并在单相低速电机（10）输出轴与旋转平台（4）旋转轴的连接处通过磁流体（5）密封；所述源部件接口处安装进气法兰（2），并在进气法兰（2）外周安装永磁体（7），且进气法兰（2）外端面安装用于密封源部件接口的密封件（3）。

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室本体(I)，反应室本体(I)底部设有旋转平台(4)，其特征是，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体(I) 一侧设有源部件接口 ；所述单相低速电机(10)的输出轴与旋转平台(4)的旋转轴连接并在单相低速电机(10)输出轴与旋转平台(4)旋转轴的连接处通过磁流体(5)密封；所述源部件接口处安装进气法兰(2 )，并在进气法兰(2 ...

【专利技术属性】
技术研发人员：成秋云，禹庆荣，吴得轶，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：