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本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种晶体硅太阳能电池等离子刻蚀工艺中等离子刻蚀机反应室，反应室本体底部设有旋转平台，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体一侧设有源部件接口；所述单相低速电机的输出轴与旋转平台的旋转轴连接...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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