【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及使聚光的激光束移动扫描,进行加工的光扫描式激光加工机。已有技术的该种装置,有特公昭62-11953号公报中所揭示的方案。以往的光扫描式激光加工机的构成及部分构成变更的部分构成图分别示于图8和图9。1是输出激光光束2的激光振荡器,激光光束2由偏转镜3偏转导向加工透镜4,由加工透镜4聚光的激光光束2向加工件5照射,由此,进行加工。在该已有技术装置的图中示出单轴光扫描式激光加工机,其构成是采用公知的圆头螺杆、直线导轨、伺服电机等(没有图示)把持有偏转镜3及加工透镜4的加工头部6向图示的X方向驱动、进行移动扫描,由此,实施切断加工。在以往装置中,作为在激光束2传输通路的一部分上伸缩自如的光路密闭保护体,其具体构成是设置光路伸缩软管7,经连通箱9,把逆光路伸缩软管8对称地连接至光路的相对侧。10是用于调整、维护检查连通箱9内的偏转镜3的检查口的检查盖,11是安装在光路伸缩软管7和逆光路伸缩软管8适当位置的导轨滚轮,12是引导导轨滚轮11的导轨。图9中,示出逆光路伸缩软管8的开口端安装在加工头部6侧面的构成。然后说明其动作。激光束2的传输通路,从激光振荡器 ...
【技术保护点】
一种移动偏转镜和加工头部,进行激光加工的光扫描式激光加工机,其特征在于,它包括:具有伸缩自如的光路密闭保护构件的激光束传输通路,以及由具有气密性的伸缩自如薄膜状材料构成,并与所述激光束传输通路相连的压力调整用缓冲手段。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:泽井秀一,松野司,押村光信,林荣吉,
申请(专利权)人:三菱电机株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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