拆卸装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种拆卸装置，至少包括支撑部件、穿设于所述支撑部件内的旋转升降部件以及与所述旋转升降部件连接的拔卸部件。本实用新型专利技术的拆卸装置中拔卸部件的钩体部只与轴连接件的凸缘下表面接触，因此通过拆卸装置的旋转部件及拔卸部件对该轴连接件施加向上牵引力时，避免了对该轴连接件及位于其下的转动轴施加垂直于转动轴轴心方向的水平力，进而消除了对转动轴变形或轴心偏移的影响，同时，本实用新型专利技术设计简单，安装方便，还可以灵活调整拔卸部件的水平及纵向高度位置，使拆卸轴连接件省时省力。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种拆卸装置，特别是涉及一种用于拆卸沉积设备零部件的拆卸>J-U ρ α装直。
技术介绍
薄膜沉积的方法主要分为物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)和化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)两大类。其中，化学气相沉积(Chemicalvapor deposition, CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。化学气相沉积因其工艺较为简单，不需 要高真空、便于制备复合产物、沉积速率高，以及沉积的各种薄膜具有良好的阶梯覆盖性能等优点，在半导体器件的制造中被广泛采用。化学气相沉积设备(CVD设备)中的薄膜沉积是在反应室中进行的，且反应室中存在必不可少的加热部件(heater block)，主轴和转动轴分别位于该加热部件的上方及下方，如图1所示，转动轴5上表面覆盖有具有凸缘61的蘑菇状轴连接件6，且该轴连接件6位于所述加热部件中形成的深孔中，所述主轴与转动轴通过螺钉固定于该位于深孔的轴连接件上，并通过该轴连接件进行连接。根据零件的维护检查要求，需定期对安装于深孔中的零件进行拆卸检查或加以更换，尤其是位于加热部件深孔中的轴连接件。但是，该轴连接件由于直接位于所述反应腔中，在CVD设备的反应腔进行成膜工作之后，所述轴连接件容易同时被覆盖膜，加大了拆卸该轴连接件的难度。该轴连接件的传统拆卸方法是使用大力钳夹持该轴连接件凸缘的侧面并做向上牵引运动，不过，由于大力钳与该轴连接件凸缘的侧面和下表面相接触，则使用大力钳时，不仅对该轴连接件施加了沿转动轴心方向的向上的牵弓丨力，同时对所述轴连接件及位于其下的转动轴不可避免地施加了垂直于转动轴轴心方向的水平力，该水平力很容易造成位于该轴连接下的转动轴的变形或轴心偏移。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种拆卸装置，用于解决现有技术中拆卸覆盖转动轴的轴连接件时易导致转动轴变形或轴心偏移的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种拆卸装置，所述拆卸装置至少包括支撑部件、穿设于所述支撑部件内的旋转升降部件以及与所述旋转升降部件连接的拔卸部件；所述支撑部件包括多个等高的支撑纵杆及位于各该支撑纵杆顶端同一侧且与各该支撑纵杆固定连接的支撑面，其中，所述支撑面中开设有一具有内螺纹的通孔；所述旋转升降部件包括穿设于所述通孔内、设有与所述通孔内螺纹啮合的外螺纹的螺栓、连接于所述螺栓下部的两个环形固定垫片、及位于所述支撑面之上且连接于所述螺栓的手柄；所述拔卸部件包括套设于所述螺栓且卡合于两个所述固定垫片之间的水平架、一端连接于所述水平架且在所述水平架中可水平调整连接位置的多个纵向杆体、及连接于各该纵向杆体的另一端且与各该纵向杆体的连接角度可调的钩体部。可选地，所述支撑面背面设有一限制所述环形固定垫片向上移动的限位件。可选地，所述限位件为套设于所述螺栓上的中空筒状结构，且所述限位件的直径小于所述环形固定垫片的外圆直径。可选地，所述支撑面上表面设有一环形缓冲垫片，且所述螺栓穿设于所述环形缓冲垫片中。可选地，所述螺栓下部沿其横截面方向开设有与所述环形固定垫片匹配的两个平行的环形槽；所述环形固定垫片为两部分，一紧固件将所述两部分环形固定垫片连接且使其固定于所述环形槽中。可选地，所述环形固定垫片设有与所述螺栓的外螺纹啮合的内螺纹，且所述的环形固定垫片与螺栓通过螺纹连接固定于所述螺栓的下部。可选地，所述水平架为平面板体，且所述水平架的下表面开设有与各该纵向杆体相匹配的多个凹槽的，各该纵向杆体的一端连接于水平架的各该凹槽中。可选地，所述水平架为位于同一平面、且一端相互连接形成有连接部的多脚架，所述螺栓穿设于多脚架的连接部，所述多脚架的每个脚部的下表面开设有与各该纵向杆体相匹配的凹槽，各该纵向杆体的一端连接于与水平架的各该凹槽中。可选地，各该纵向杆体通过穿设于所述水平架且旋紧于所述纵向杆体的紧固件固定于各该凹槽中。可选地，所述钩体部通过旋紧所述的钩体部至纵向杆体的紧固件固定预调整的角度。如上所述，本技术的拆卸装置，具有以下有益效果由于该拆卸装置中拔卸部件的钩体部只与轴连接件的凸缘下表面接触，因此通过拆卸装置的旋转部件及拔卸部件对该轴连接件施加向上牵引力时，避免了对该轴连接件及位于其下的转动轴施加垂直于转动轴轴心方向的水平力，进而消除了对转动轴变形或轴心偏移的影响，同时，本技术设计简单，安装方便，还可以灵活调整拔卸部件的水平及纵向高度位置，使拆卸轴连接件省时省力。附图说明图1显示为CVD设备中轴连接件的剖视图。图2显示为本技术拆卸装置的俯视图。图3和图4显示为图2沿A-A方向的剖视图，其中，图3为旋转升降部件降至最低的情况，图4为旋转升降部件升高到最高的情况。图5a显示为本技术拆卸装置中水平架为四脚架的俯视图，其中，在所述水平架中心上方配有一环形固定垫片。图5b显示为本技术拆卸装置中水平架为三脚架的俯视图，其中，在所述水平架中心上方配有一环形固定垫片。元件标号说明I支撑部件11支撑纵杆12支撑面13固定脚14限位件21 螺栓22环形固定垫片23 手柄3拔卸部件31水平架32纵向杆体33钩体部4环形缓冲垫片5转动轴6轴连接件61 凸缘具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图2至图5b。须知，本技术的拆卸装置说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、t匕例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。位于CVD设备加热部件中心深孔处的轴连接件的传统拆卸方法，是使用大力钳夹持该轴连接件凸缘的侧面并做向上牵引运动，不过，由于大力钳与该轴连接件凸缘的侧面和下表面相接触，则使用大力钳时，不仅对该轴连接件施加了沿转动轴心方向的向上的牵引力，同时对所述轴连接件及位于其下的转动轴不可避免地施加了垂直于转动轴心方向的水平力，该水平力很容易造成位于该轴连接下的转动轴的变形或轴心偏移。有鉴于此，本技术提供了一种拆卸装置，由于该拆卸装置中拔卸部件的钩体部只与该轴连接件的凸缘下表面接触，因此通过拆卸装置的旋转部件及拔卸部件对该轴连接件施加向上牵引力时，避免了对该轴连接件及位于其下的转动轴施加垂直于转动轴心方向的水平力，进而消除了对转动轴变形或轴心偏移的影响，同时，本技术设计简单，安装方便，还可以灵活调整拔卸部件的水平及纵向高度位置，使拆卸轴连接件省时省力。以下将详细阐述本技术的拆卸装置的实施方式，使本领域技术人员不需要创造性劳动即可理解本实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种拆卸装置，用于将覆盖于转动轴上表面的蘑菇状轴连接件拆卸下来，其特征在于，所述拆卸装置至少包括：支撑部件、穿设于所述支撑部件内的旋转升降部件以及与所述旋转升降部件连接的拔卸部件；所述支撑部件包括多个等高的支撑纵杆及位于各该支撑纵杆顶端同一侧且与各该支撑纵杆固定连接的支撑面，其中，所述支撑面中开设有一具有内螺纹的通孔；?所述旋转升降部件包括穿设于所述通孔内、设有与所述通孔内螺纹啮合的外螺纹的螺栓、连接于所述螺栓下部的两个环形固定垫片、及位于所述支撑面之上且连接于所述螺栓的手柄；?所述拔卸部件包括套设于所述螺栓且卡合于两个所述固定垫片之间的水平架、一端连接于所述水平架且在所述水平架中可水平调整连接位置的多个纵向杆体、及连接于各该纵向杆体的另一端且与各该纵向杆体的连接角度可调的钩体部。

【技术特征摘要】
1.一种拆卸装置，用于将覆盖于转动轴上表面的蘑菇状轴连接件拆卸下来，其特征在于，所述拆卸装置至少包括 支撑部件、穿设于所述支撑部件内的旋转升降部件以及与所述旋转升降部件连接的拔卸部件； 所述支撑部件包括多个等高的支撑纵杆及位于各该支撑纵杆顶端同一侧且与各该支撑纵杆固定连接的支撑面，其中，所述支撑面中开设有一具有内螺纹的通孔； 所述旋转升降部件包括穿设于所述通孔内、设有与所述通孔内螺纹啮合的外螺纹的螺栓、连接于所述螺栓下部的两个环形固定垫片、及位于所述支撑面之上且连接于所述螺栓的手柄； 所述拔卸部件包括套设于所述螺栓且卡合于两个所述固定垫片之间的水平架、一端连接于所述水平架且在所述水平架中可水平调整连接位置的多个纵向杆体、及连接于各该纵向杆体的另一端且与各该纵向杆体的连接角度可调的钩体部。2.根据权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于所述支撑面背面设有一限制所述环形固定垫片向上移动的限位件。3.根据权利要求2所述的拆卸装置，其特征在于所述限位件为套设于所述螺栓上的中空筒状结构，且所述限位件的直径小于所述环形固定垫片的外圆直径。4.根据权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于所述支撑面上表面设有一环形缓冲垫片，且所述螺栓穿设于所述环形缓...

【专利技术属性】
技术研发人员：许亮，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：